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MEMS传感器失效分析管理规范.docx

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    MEMS传感器失效分析管理规范

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、适用范围 9

    三、术语和定义 10

    四、职责与权限 12

    五、失效分析原则 15

    六、失效分析分类 17

    七、失效信息受理 19

    八、样品接收与管理 22

    九、失效分析流程 25

    十、分析制定 28

    十一、失效复现与验证 31

    十二、失效机理分析 33

    十三、分析方法与设备 36

    十四、数据记录与证据管理 39

    十五、失效原因判定 44

    十六、纠正预防措施 47

    十七、分析报告编制 49

    十八、结案与效果跟踪 52

    十九

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