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薄膜材料与技术入门试题含评分标准

考试时间：______分钟总分：______分姓名：______

析光学厚度是薄膜物理厚度乘以折射率但实际测量时还需考虑光波长等因素解析没有哪种薄膜技术能保证总是制备出完全均匀无任何缺陷的薄膜缺陷控制是薄膜技术的重要挑战四简答题简述化学气相沉积CVD的基本原理及其与物理气相沉积PVD的主要区别解析化学气相

一、选择题（每题2分，共20分）

1.以下哪种材料或结构通常被称为薄膜？

A.块体金属锭

B.金属丝

C.厚度在微米或纳米量级的薄层材料

D.液体水滴

2.在薄膜制备技术中，利用气体在加热基板表面发生化学反应并沉积成膜的

方法属于？

各种材料包括金属半导体绝缘体等沉积速率较快能在大面积基板上沉积均匀薄膜薄膜与基板的结合力附着力较好设备成本相对较高解释什么是薄膜的附着力并说明影响薄膜附着力的因素有哪些解析薄膜的附着力是指薄膜材料与基板之间的结合强度即抵抗界面分离或破附着力

A.溅射沉积

B.真空蒸发沉积

C.化学气