集成电路制造技术 课件 第一章 集成电路器件物理和制造基础.pptx

集成电路制造技术

第一章：集成电路器件物理和制造基础张睿浙江大学集成电路学院2026年10月27日教材名称：《集成电路制造技术》

课程第一章集成电路器件物理和制造基础第1节：MOSFET器件的结构与工作原理第2节：MOSFET器件微缩化理论第3节：先进集成电路微缩化实践

一、MOSFET器件的结构与工作原理二、MOSFET器件中的电流三、输出特性与转移特性曲线

MOSFET器件的结构什么是MOSFET？MOSFET：金属-氧化物-半导体场效应晶体管（Metal-Oxide-SemiconductorField-EffectTransistor）p-Sin+n+MetalVgVdGNDM