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电子工业洁净厂房设计指南.docx

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    电子工业洁净厂房设计指南

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 3

    二、设计目标与基本原则 4

    三、厂址选择与总图规划 7

    四、工艺需求与洁净等级 11

    五、工艺布局与人流物流组织 14

    六、建筑空间与围护结构 17

    七、洁净空调系统 21

    八、气流组织与压差控制 24

    九、温湿度与微环境控制 27

    十、空气净化与过滤系统 31

    十一、给排水与纯水系统 33

    十二、工艺气体与真空系统 35

    十三、化学品供应与排风系统 38

    十四、电气与供配电系统 41

    十五、照明与防静电设计 43

    十六、自动控制与监测系统

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