半导体设备去日化专题：“去日化”为重要趋势，大扩产下国产设备+零部件加速突破.pptxVIP

“去日化”为重要趋势，大扩产下国产设备+零部件加速突破

度

研究报告

半导体设备去日化专题：

2026年10月26日

明

u日本是中国大陆半导体设备的最大进口来源国，“去日化”成为重要趋势。1）总量层面：2021-2025年中国大陆进口日本设备总额从85亿美元大幅提升至

124亿美元，高峰时每年采购额近千亿元，主要系中国大陆逆周期扩产；2026Q1进口金额为26亿美元，同比-10%；2）从占比来看：2021-2024年日系设备份额为29%、29%、27%和29%，日本一直是最大进口来源国；2025-2026Q1占比分别为25%、24%，日本份额明显下降，国产设备商加速替代；3）从品类来看：2025年刻蚀、测试、薄膜沉积和氧化扩散等设备是主要进口品类，日本具有完整的上游设备及零部件产业链，培育出东京电子、爱德万测试、迪思科等全球前十大设备商。我们认为“去日化”的底层逻辑是中国大陆始终坚持自主可控，以及产业链持续不断突破，外部变化只是加速这一过程。

u日本半导体设备布局全面，前道主要环节竞争力出色。日本半导体设备产业发展时间长，既有平台型的全球龙头东京电子，也有单一赛道龙头爱德万测试、迪恩士等，还有很多细分领域隐形冠军，如KE的批量式ALD、爱发科的PVD、日立高科的导体刻蚀等。1）绝对领先：涂胶显影领域，TEL长期垄断全球9