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等离子清洗机安全操作规程

一、适用范围

本规程覆盖等离子清洗机从开机准备、作业运行、停机维护到异常处置的全流程安全要求，是所有接触该设备人员必须遵守的刚性操作准则，无岗位、职级类的例外豁免权限。

本规程适用于生产车间内所有低压真空型、常压型等离子清洗设备（含采用氩气、氧气、四氟化碳等常规工艺气体的表面改性、残胶清洗、键合前活化工序）；适用人员包括设备操作员、工艺调试员、设备维修工程师、现场巡检安全员、新入职实习人员；所有接触设备的人员必须完成本规程培训并考核合格，取得操作授权后方可独立作业，外协人员进入设备作业区域必须由当班设备操作员全程陪同。

二、作业前安全准备

作业前检查是阻断80%以上等离子清洗类安全事故的核心关口，所有检查项未确认合格前严禁启动设备。

1.个人防护要求

?必须穿戴10kV等级绝缘防割手套、防冲击护目镜、防静电工作服，袖口、下摆必须收紧；

?严禁佩戴手表、戒指、金属手链等导电饰品进入作业区域（金属饰品靠近射频电极会产生感应放电，造成局部电弧灼伤）；

?严禁穿化纤类易产生静电的衣物作业，长发必须全部束入工作帽内。

2.设备开机前点检（所有项量化验收）

?接地系统：目视检查设备外壳接地端子无松动、氧化，每月由设备部检测接地电阻，必须≤4Ω，接地不合格严禁送电；

?真空系统（真空型设备）：检查真空泵油位在油窗上下刻度线之间，油液无乳化变白（油液乳化说明