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《现代材料分析测试技术》课件——项目2：聚焦离子束技术.pptxVIP

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  • 2026-10-31 发布于福建
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《现代材料分析测试技术》课件——项目2：聚焦离子束技术.pptx

    2.1聚焦离子束系统结构

    1聚焦离子束系统结构

    1聚焦离子束系统结构

    聚焦离子束系统是用聚焦离子束代替扫描电镜(SEM)及透射电镜

    (TEM)中所用的质量很小的电子作为仪器光源的显微分析加工系统。

    图1给出了聚焦离子束系统的结构示意图。在离子柱顶端的液态离子

    源上加一强电场来抽取带正电荷的离子，通过位于柱体中的静电透

    镜、可控的四极／八极偏转装置，将离子束聚焦并在样品上扫描，

    收集离子束轰击样

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