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- 2026-10-31 发布于福建
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4.1原位X射线光电子能谱
1.1引言
X射线光电子能谱仪(XPS)是一种有效的表面分析技术,广泛用于基础科研、
先进材料研究、高精尖技术等领域。XPS利用X射线辐射样品,使得原子或分
子的内层电子或者价电子受到激发而成为光电子,通过测量光电子的信号来表
征样品表面的化学组成、各元素的结合能以及价态。瑞典Uppsala大学的K.
Siegbahn及同事于上世纪60年代中期开发研制了XPS这种新型的表面分析仪
器。目前XPS已经成为研究
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