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2026年新大型半导体设备安全员考试题库及答案

一、单项选择题（每题2分，共30分）

1.半导体洁净室中，防止静电放电（ESD）损坏器件最有效的个人防护措施是（）

A.穿棉质工作服，避免产生静电

B.佩戴防静电腕带并穿防静电鞋

C.戴橡胶手套以隔绝静电

D.使用普通塑料凳，不采取任何措施

答案：B

2.硅烷（SiH4）的化学特性是（）

A.惰性气体，性质稳定，不与空气反应

B.在空气中自燃，生成二氧化硅和水

C.助燃气体，支持其他物质燃烧

D.遇水剧烈反应，产生氢气

答案：B

3.EUV光刻机内部使用氢气环境以保护光学系统，氢气在空气中的爆炸极限为（）

A.4.0%～75%

B.1.4%～7.6%

C.2.0%～40%

D.5%～15%

答案：A

4.离子注入机维护前，必须对高压电容进行（）

A.直接短接放电，不做任何测量

B.使用接地棒放电，并确认电压为零后再作业

C.等待5分钟自然放电即可

D.用水冲洗放电

答案：B

5.下列气体中，属于半导体工艺中常用的自燃性特气的是（）

A.氮气（N2）

B.三氟化氮（NF3）

C.磷烷（PH3）

D.二氧化碳（CO2）

答案：C

6.惰性气体（如氮气）在受限空间内大量泄漏，主要的危害是（）

A.化学中毒

B.缺氧窒息

C.燃烧爆炸

D.腐蚀设备

答案：B

7.氢氟酸（