SEMI F63 与国标电子级水指标对比表中文版 国内外超纯水水质差异对照.docxVIP

ULTRA-PUREWATER/PARTICLE·METALS·TOC·MICROBIOLOGY·DELIVERY

超纯水与高纯水系统技术实务·独立行业技术文章

SEMIF63与国标电子级水指标对比表中文版

国内外超纯水水质差异对照

限值看着接近，结论可能相反

主题范围

水质·管路·输送·监测·验收

文档性质

独立行业技术文章

适用读者

厂务·工艺·品质·工程

▍摘要/ABSTRACT

把两份水质指标表并排放好逐行对照，是很多技术评审的开场动作，也是最容易得出错误结论的动作。差异往往不在限值本身，而在单位、参比温度、取样点位、统计口径与判定规则。本文按指标逐个拆开口径问题：电阻率的温度补偿与显示位数、TOC的方法与限值双层差异、颗粒的粒径通道、金属的列表长度与检出限、微生物与溶解氧的指标缺席，随后说明为什么横比会失效，并给出差距分析与内控标准建立的可执行步骤。文中提供指标口径对照、判定规则要素对照与内控建立流程三张表，配合一份照搬外部限值导致误判的复盘，说明内控必须以本厂基线为起点。指标对比做到最后，比的往往不是数字大小，而是各自的前提条件是否被如实写出。

关键词指标对比/统计口径/参比温度/差距分析/内控标准

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