CN119287331A 夹具组件、镀膜组件及镀膜方法 （江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119287331A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411418999.1C23C16/04(2006.01)

(22)申请日2024.10.11

(71)申请人江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司

地址214000江苏省无锡市新吴区新华路

277号

(72)发明人宗坚孙富恩

(74)专利代理机构北京集佳知识产权代理有限

公司11227

专利代理师吴敏

(51)Int.Cl.

C23C14/50(2006.01)

C23C16/458(2006.01)

C23C16/44(2006.01)