CN119290188A 光栅测温装置、半导体设备及其测温方法 （上海凯世通半导体股份有限公司）.pdfVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利申请

(10)申请公布号CN119290188A

(43)申请公布日2025.01.10

(21)申请号202411411194.4H01L21/67(2006.01)

(22)申请日2024.10.10

(71)申请人上海凯世通半导体股份有限公司

地址201203上海市浦东新区中国（上海）

自由贸易试验区牛顿路200号7号楼单

元1

申请人北京凯世通半导体有限公司

上海临港凯世通半导体有限公司

(72)发明人洪俊华

(74)专利代理机构上海知锦知识产权代理事务

所(特殊普通合伙)31327

专利代理师高静

(51)Int.Cl.