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《半导体光刻材料研发项目管理手册》.docx

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    《半导体光刻材料研发项目管理手册》

    目录TOC\o1-4\z\u

    一、总则 2

    二、研发需求分析与立项管理 7

    三、研发项目目标与范围管理 9

    四、研发技术路线选择与论证 12

    五、研发进度计划与里程碑管控 14

    六、研发资源统筹与配置管理 18

    七、研发技术风险识别与应对 21

    八、研发实验数据全流程管理 33

    九、研发中试放大与工艺验证 37

    十、研发性能测试与指标对标管理 39

    十一、研发过程质量管控体系 42

    十二、研发知识产权布局与保护 45

    十三、研发跨方沟通与协同机制 47

    十四、研发成本核算与动态管控

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