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微机电系统MEMS微镜控制策略的研究研究文献综述

1.1.1微机电系统的概述

微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem,MEMS）是指尺寸在毫米级甚至更小的科技装置。1959年，量子物理学家RichardP.Feynman在其演讲稿中首次提出了微型化的思想REF_Ref930\r\h[1]。从此之后，伴随着纳米技术的发展，MEMS逐渐发展起来。在发展初期，MEMS主要是随着集成电路技术，硅微型传感器技术的发展而发展的，在进入20世纪70年代后，MEMS进入了快速发展的阶段，制造技术不断完善，应用的领域也