微制造平台微振动的最优控制.pdf

第16卷第3期 振 动 工程 学报 Vol1 6 No{ 2003年9月 ofVibration Sep．2(,f13 Journal Engineering 微制造平台微振动的最优控制 张春良“2梅德庆1陈子辰1 001) (1浙江大学现代制造工程研究所杭州．310027)(2南华大学机械工程学院衡阳，421 摘要 采用混合隔振技术建立了微制造平台隔振系统。该系统以空气弹簧和橡胶层作为被动隔振元件、超磁故 伸缩致动器作为主动隔振元件．并采用最优控制理论设汁其主动控制器。研究了在不同的性能指标加权阵的睛况 下，该主动振动控制系统对基础干扰和由微制造设备产生的直接干扰所引起的微制造平台振动的控制效果。研究 表明性能指标加杈阵对振动控制效果影响非常大。通过大量的仿真实验确定r一组性能指标加权阵，使所设汁的 主动控制系统能在较宽的频率范围对基础干扰和直接干扰所引起的微制造平台振动进行有效的控制。 关键词：混合控制；微制造平台；混台隔振；最优控制 中圈分类号：TB535．1；TP273．2 近年来，微机电系统(MEMS)已成为人们研究从而使地面传来的各种中高频干扰力得到有效的隔 的热点领域，其发展有可能引起一场新的工业革 离。在微制造平台和平台底座之间采用被动隔振与 命“”o。MEMS的微型性和精密性要求其加工、检主动隔振相结台的混合隔振技术，以空气弹簧作为 测和装配等工作必须在一个具有良好隔振性能的微 被动隔振元件，以超磁致伸缩致动器作为丰动隔振 制造平台上进行。微制造平台的精密隔振系统设计 元件，通过与检测系统一起构成闭环主动振动控制 需要考虑的环境微振动干扰是复杂的，不仅有地面 系统，从而有效地消除由平台底座传递过来的各种 传来的振动，还有台面仪器设备的运动干扰等。一。这 频率范围的振动下扰力，即使对于被动隔振系统难 就要求所设计的微制造平台隔振系统不仅对中高频 以消除的低频或超低频干扰力，也能进行有效地隔 干扰力具有良好的隔振效果，而且对低频和超低频 离。 干扰力也能进行有效的隔离。然而，采用传统的被动 隔振技术很难有救地隔离超低频振动信号，特别是 无法隔离由试验仪器、气流等所产生的直接干 扰““]。上世纪60～70年代发展起来的主动隔振技 术是一种新的振动控制方法，其隔振效果要比被动 隔振好．尤其在隔离超低频振动方面的优势更加明 显。 本文综合被动隔振与主动隔振各自的优势，建 立了微制造平台混合隔振系统，并对系统进行了最 优控制；研究了在不同的性能指标加权阵的情况下， 图1 微制造平台隔振系统的结构模型 所设计的主动振动控制系统对基础干扰和由微制造 微制造平台隔振系统可简化为l割2所示的动力 设备产生的直接干扰所引起的微制造平台振动的控 学模型。图中m。为微制造平台与微制造没备的总 制效果。 质量；m：为平台底座质量；^。m分别为空气弹簧的 等效刚度系数与粘性阻尼系数；女?∞分别为橡胶垫 1微制造平台隔振系统的结构模型 层的刚度系数与粘性阻尼系数；／。为主动隔振敛动