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( ) 第 1 期 总第 128 期 机 械 工 程 与 自 动 化 N o 1 2005 年 2 月 M ECHAN ICAL 　EN G IN EER IN G　　AU TOM A T ION Feb 文章编号:(2005) 半导体气敏元件 吴义炳 (福建农林大学 机电学院, 福建　福州　350002) 摘要: 首先介绍半导体气敏元件的工作原理, 然后从制备工艺、基材现状、测量方法三方面进行了综述。 关键词: 半导体; 气敏元件; 制备工艺 中图分类号: TN 30492　　　文献标识码: A 0　引言 使电阻下降。 随着纳米技术的发展, 与该项技术相结合的半导 空气中的氧成分大体上是恒定的, 因而氧的吸附 体气敏器件由于具有灵敏度高、响应时间和恢复时间 量也是恒定的, 气敏器件的阻值大致保持不变。如果 短、使用寿命长及成本低等优点, 被广泛应用于检测 被测气体流入这种气氛中, 器件表面将产生吸附作用, 各种有害气体、可燃气体、工业废气和环境污染气体。 器件的阻值将随气体浓度而变化, 从浓度与阻值的变 ( ) 气敏元件是检测环境气氛中某种 或某类 气体 化关系即可得知被测气体的浓度。 存在及其含量的基础。气敏元件性能与敏感材料的种 2　半导体超微粒粉体制备方法 类、结构及制作工艺密切相关。本文首先简单介绍半 半导体超微粒粉体制备的方法有很多, 主要分为 导体气敏传感器的工作原理, 然后着重从制备工艺、基 气相、液相、固相三类。各种基材的制备方法类似, 由 材现状、测量方法三方面进行综合性论述。 于 SnO 2 是最早使用也是目前使用最广泛的一种气敏 1　半导体气敏元件的工作原理 材料, 现就以 SnO 2 为例讲述其主要的制备方法。 ( 半导体气敏传感器是利用待测气体与半导体 主 2 1　从气体中合成超微粒 SnO 2 方法 ) 要是金属氧化物 表面接触时产生的电导率等物性的 从气体中合成超微粒 SnO 2 的方法主要有溅射 变化来检测气体。半导体气敏器件被加热到稳定状态 法、蒸镀法、化学气相沉积法, 并可由此法直接制作 下, 当气体接触器件表面而被吸附时, 吸附分子首先 成薄膜型气敏元件。 ( ) 在表面自由地扩散 物理吸附 , 失去其运动能量, 其 溅射法是采用高纯金属锡靶作阴极, 在A r 与O 2 间的一部分分子蒸发, 残留分子产生热分解而固定在 混合气体中溅射, 在 Sn 被溅射到沉积在基片上的过 ( ) 吸附处 化学吸附 。这时, 如果器件