TiNTiAIN涂层的断裂韧性研究.pdf

第37卷 增刊l 稀有金属材料与工程 v01．37，Suppl．1 RAREMEl’ALMATERIALSANDENGINEERING 2008 2008年 1月 J卸uary TiN／TiAlN涂层的断裂韧性研究 郑立允1，王玉果2，赵立新1，张京军1，熊惟皓3 (1．河北工程大学，河北邯郸056038) (2．天津大学，天津3000721 (3．华中科技大学，湖北武汉430074) 行压痕试验；通过测试压痕周围的裂纹长度和数目，用裂纹密度声来评价涂层的断裂韧性。结果表明，Ti(C，N)基金属 形貌中，涂层没有剥落，只有沿压痕应力角径向显微裂纹和压痕四周的侧向显微裂纹，不同基体其压痕裂纹特点也不 同。Ti(C，N)基金属陶瓷基体上涂层的径向裂纹非常短，并有裂纹偏转现象，侧向裂纹很长。wC基金属陶瓷基体上涂 层的径向裂纹很长，非常平直，侧向裂纹很短。 关键词：金属陶瓷；多弧离子镀：TiN门riAlN涂层；压痕试验；断裂韧性 148 文献标识码：A 中图法分类号：TG 文章编号：1002．185X(2008)S1．752．04 剂_÷真空烧结后，试样在万能工具磨床上用金刚石砂 1 引 言 涂层技术是提升刀具性能的主要手段之一。通过 砂纸磨屑后抛光，其粗糙度约为0．08¨m。WC基金属 涂层技术可以提高刀具的硬度和表面韧性，增大切削 陶瓷的原料成分配比为90％WC—lO％，试样表面经过 速度和进给速度，从而提高了金属切削效率【l】，相应 相同的表面磨削抛光处理。选用Ti靶和TiAl合金靶， 地延长刀具寿命，还能改善被加工零件的表面精度。 附着于基体材料上的涂层属于二维材料，其表面 含量均为50％。 和界面效应与组织结构的影响互相制约，因而表现出 2．2涂层的制备工艺 许多与整体材料不同的力学行为，能满足各种特殊应 沉积设备为14弧源多弧离子镀膜机，其中纯Ti 用需求。由于涂层的磨损与裂纹的产生与扩展有关， 靶6个，TiAl合金靶8个。涂层制备的整个工艺流程 因此涂层的断裂韧性对于涂层材料的性能是非常重要 为：试样涂层制备前的检查一在三氯乙烯中超生波清 的。此外，基体的存在对薄膜的变形与断裂等力学性 洗_汽油清洗(2次)_水洗一酸洗一乙醇清洗一烘干 能将产生很大的影响。 一装炉一离子轰击清洗一制备Ti过渡层一制备TiAlN 本研究采用多弧离子镀技术在Ti(C，N)基和WC涂层一制备TiN表面层一真空冷却_出炉。辅助气体 基金属陶瓷上制备了TiN／TiAlN涂层，并对TiN／TiAIN为N2，时气体，纯度均为99．999％。为了提高涂层与 涂层的断裂韧性进行了研究。 基体的结合力，在制备TiAlN薄膜前，在试样表面先 沉积一层纯Ti膜，TiAlN薄膜的沉积工艺为：靶电流 2 实验 60～70A，偏压为-200—400V，N2分压0．32Pa，沉积 2．1 基体材料和涂层材料 温度约500℃，总沉积时间为120min。试样真空炉冷 至U80℃出炉； Ti(C，M基金属陶瓷的原料成分配比为(质量分 数，下同)45．2TiC．10TiN．26Ni．1lMo一7WC．0