Si基SiGe光波导开关的研究现状与最新进展.pdfVIP

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2017-09-23 发布于河南
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Si基SiGe光波导开关的研究现状与最新进展.pdf

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56 2004 25 6 李静等: Si基SiGe 光波导开关的研究现状与最新进展 Si SiGe 李静, 赵玉周, 林旭彬, 胡巧燕, 李章健, 陈志文 ( , 510275) : 随着光纤通信技术的迅猛发展,作为光交叉连接和光分插复用核心器件的光开关的作用日突出其中Si 基光波导开关由于其成本低可靠性高器件制作工艺成熟等诸多优点而备受重视综述了目前Si基光波导开关,特别是SiGe 材料光波导开关的研究现状和进展 : ; SiGe; ; : TN252 : A : 1001- 5868(2004)06- 0417- 06 Recent Progress of Si-based SiGe Optical Waveg ide Switches LI Jing, Z AO Yu-zhou, LIN Xu-bin, U Qiao-yan, LI Zhang-jian, C EN Zh-i wen ( State Key Laboratory of Optoelectronic Materials and Technologies, S n Yat-Sen University, G angzho 510275, CHN) Abstract: With rapid development of fiber-optic communications, the importance of optical switches is becoming increasingly prominent because they serve as one kind of key components for optical cross connect and optical add-drop multiplexer. Especially, S-i based opticalwaveguide switches are more promising owing tolow-cost, high reliability, and very mature fabrication technology. In this paper, the recent progresses of S-i based SiGe optical waveguide switches have been discussed and analyzed. Key words: optical switch; SiGe; optical waveguide; plasma dispersion effect 1 2 @ 2 ,GaAs InP , , , , , Si ( OXC) (OADM) , , ; , Si SiO-Si SiGe-Si 2 SiO Si , SiGe/ Si 2 , , Si SiO-Si , Si SiO 2 2 , , Si SiO , 2 ,2 @ 2 , SiO2-Si