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薄膜磁性材料的研究发展和应用/王 军等 ·1· ＊ 薄膜磁性材料的研究发展和应用 王 军 1，2 ，尤富强1，2,殷俊林 1，2 ，严 彪1，2 (1 同济大学材料学院金属基材料研究所，上海 200092 ；2 上海市金属功能材料重点实验室，上海 200092) 摘要 介绍了磁性薄膜的发展和应用，同时讨论了磁性薄膜的发展状况，阐诉了磁性薄膜的制备工艺和组织性能，最 后讨论了新型磁性薄膜的研究发展方向。 关键词 磁性薄膜 组织 Development and Application of Magnetic Films WANG Jun1,2，You Fuqiang1，2, YIN Junlin1,2,YAN Biao1,2 (1 Institute of Metal-Based Materials, College of Materials Sciences and Engineering, Tongji University, Shanghai 200092; 2 Shanghai Key Laboratory of Metal Function Materials Research and Application, Shanghai 200092) Abstract This paper describes the development and application of the magnetic films. At the same time, the newly magnetic films is described with its processing technology、microstructure and properties. Prospect for future development of magnetic films is forecasted. Key words magnetic films, structure 在急速发展的全球信息化中，为满足节能、环保和电子 1.1 铁氧体类 信息设备数字化、多功能、智能化以及小型、轻便、灵巧等 尖晶石和石榴石铁氧体薄膜在磁饱和磁记录技术等方 多种需要，磁性材料工业的发展越来越成为衡量一个国家信 面已有很多应用，特别是在雷达技术中有广泛的应用，但都 息化程度的重要标志。假使一个国家的钢铁产量能代表该国 是用于军备竞赛。近几年对微米量级厚薄膜的研究有不少工 工业化水平的话，那么国家的磁性材料产量就能反映该国信 作，如用作汽车中小型雷达的微波集成器件可以防碰撞，并 息化产业的发展水平；而一个国家磁性材料的人均消耗量则 使汽车智能化。 能反映本国人民的生活水平。有资料表明，中国及发展中国 要做到这一点还得与硬磁膜相配合，如将稀土-过渡金属 家磁性材料的人均消耗量仅为欧美等发达国家的 1/10，因此 间化合物永磁叠加在铁氧体上，可做成各种小型化集成微波 在发展中国家磁性材料仍是大有发展前景的一个产业。目前 器件，其用途将非常广泛。 世界市场超过 200 亿美元产值的磁性材料已是现代社会发展 1.2 铁氧体类 和电子通信等高新技术产业的物质基础，是现代工业的一块 包括 NiO 、CoO、Fe O 等，单层膜看不出大用处，在 2 3 基石。全球磁性材料的产量和产值，自 50 年代以来，几乎 人工调制膜中可用作耦合层或钉扎层，隧道结膜中有一定的 每隔