介孔氧化硅薄膜材料的研究进展.pdfVIP

·8 · 材料导报网刊 2006 年9 月第5 期 介孔氧化硅薄膜材料的研究进展* 于春晓，王艳丽，邹景霞，李群艳，韦 奇 （北京工业大学材料科学与工程学院，北京 100022 ） 摘要 介孔氧化硅薄膜在膜分离、传感器件、异相催化、低介电常数微电子绝缘片的应用方面具有潜在应用价值。 首先简要介绍了介孔薄膜的制备途径，然后重点综述了介孔氧化硅薄膜的研究进展。 关键词 介孔薄膜 氧化硅 表面活性剂 模板 Progress in the Research of Mesoporous Silica Membranes YU Chunxiao ，WANG Yanli ，ZOU Jingxia ，LI Qunyan ，WEI Qi (College of Materials Science Engineering, Beijing University of Technology, Beijing 100022) Abstract Mesoporous silica membranes have a great potential application in gas separation, sensor device, heterocatalysis and microelectronic insulating trip with low dielectric constant. In the present paper, synthetic methods of mesoporous membranes and the latest advances in the preparation of mesoporous silica membranes are reviewed in detail. Key words mesoporous membrane ，silica，surfactant，template 0 引言 A.H.Whitehead 等[2]使用电沉积法在Cu 或者Au 电极表面沉 积了六方结构的Sn 膜。K.J.Balkus 等[3]使用脉冲激光沉积法 介孔材料是孔径介于2～50 nm 之间的多孔材料，它虽 在硅和不锈钢多孔衬底上制备孔道方向垂直于衬底的六方 然在催化和吸附等方面具有重要的应用前景，但由于材料是 有序的氧化硅薄膜。最近，Brinker 等[4]采用气溶胶沉积技术 粉末颗粒状的，吸附分离和催化过程需要间歇进行，因此限 在多孔氧化铝陶瓷片上制备了立方相介孔氧化硅薄膜，膜的 制了其催化、分离的使用范围和效率。如将介孔材料做成连 −6 −2 −1 −1 厚度为 1 μm ，N2 的渗透率达到 10 mol·m ·s ·Pa ，该膜 续膜状结构，则可使间隙进行的吸附分离过程连续化，简化 有望应用于超滤分离。 操作过程并扩大应用范围。同时介孔薄膜在传感器件、异相 催化、低介电常数微电子绝缘片等方面显示了其潜在的应用 2 介孔氧化硅薄膜材料的研究进展 [1] 价值，这些用途都要求介孔材料以膜的形式出现 ，本文将 [5,6] 自从M41S 系列硅基介孔分子筛成功合成 以来，关 综述