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计量光栅传感器高倍细分电路设计 姓名 沈小良 专业班级 电信0901 . 摘要：在选择合适的光栅栅距的前提下，以对栅距进行测微，电子学中称“细分”，来得到所需的最小的读数值。本文主要涉及计量光栅传感器的高倍频细分电路设计，较为详细地介绍了目前几种主要的倍频细分电路设计方案，并对其部分优缺点进行了讨论。 关键词：光栅传感器、细分电路、倍频 一、引言 计量光栅是利用光栅的莫尔条纹现象来测量位移的。光栅式测量以其精度高、量程大、分辨率高等特点，广泛应用于数显式精密计量仪器中，如果利用莫尔拓扑技术，还可测定形状，进行三维测量。同时它在数控机床中的应用也较为普遍。 一般光栅尺的刻线数小于250 条/mm，那么其分辨率(脉冲当量)为4um，随着对测量精度要求的提高，分辨率4um是不够的，希望能提高到1um、0.1um或更高。如果以光栅的栅距直接作计量，则要求光栅的栅线密度每毫米达千、万条线之多。但从目前的工艺水平，达到上万条栅线尚无法实现。因此，广泛采用的方法是采用细分技术，在选择合适的光栅栅距的前提下，对栅距进行细分，来达到最小的读数。 目前主要的细分方法主要包括电子细分法、光学细分法、机械细分法等。由于细分后，计数脉冲的频率提高了，所以也称为倍频。本文主要讨论电子细分法的具体实现形式。 二、直接细分 直接细分法又称为位置细分，常用的细分数是4。四细分可用4个依次相距的光电元件，在莫尔条纹的一个周期内将产生4个计数脉冲，实现了四细分。 另一种方法是，在相距B/4的位置上，放两个光电器件，获得相位差90度的正弦交流信号u1和u2，对其进行反相，并让u3=-u1、u4=-u2。于是获得了相位依次相差90度的4个正弦交流信号：u1、u2、u3、u4。具体细分电路原理图和波形图如图1所示。 图1 四倍频细分电路原理图和波形图 Q1和Q2可以实现辩向功能，Q1输出表明正向移动，Q2输出表明反向移动。以Q1为例，有电路图可得， 其中4个方波信号依次是S、C、S’、C’，经微分后送人与门，再经或门，从而得到4个技术脉冲，实现了四倍频细分。 直接细分法对莫尔条纹信号波形无特别要求，电路简单，但是一个莫尔条纹间距是有限的，要在其中安装过多的光电器件是件非常困难的工作，所以细分数不宜过多，一般不超过4。 三、电阻电桥细分 电阻电桥法也称矢量和法。在图2所示的电桥电路中，u1和u2为光电器件输出输出的相差90度的电信号，设u1=Umsinθ，u2= Umcosθ，则有 令R1/R2=tanα，则： 用该信号去触发施密特电路，当θ=-α时，u0=0时，施密特电路被触发（过零触发），发出脉冲信号。这里α角按细分数选择，即事先确定好R1/R2=值。图3所示为电阻电桥10细分的示意图。 图2 电阻电桥细分原理 图3 电阻电桥10细分电路 四、电阻链细分 这种方法实质上是利用电阻衰减来进行细分。将光栅尺输出的相位差为90 度的电信号U1=Umsinθ，U2= Umcosθ经过放大器放大后，再经电阻链衰减细分，经过R1~R6电阻的分压(R1~R6为等值电阻)，再分别触发过零触发电路，则过零触发器的输出端得到相位差30度的脉冲信号(过零触发电路由电压比较器，单稳电路等组成)，即得到了6倍频的信号，如果光栅尺的栅距为4 um，经过6倍频细分后脉冲当量4/6 0.7 um。电阻链细分的电路如图4所示。 由于是电阻衰减细分，对光栅尺输出信号进行放大的要求是比较高的，应用时必须足够重视。 图4 电阻链细分电路 五、由二片74LS123组成四倍频电路 对于光栅栅距为4um的光栅尺，进行四倍频后每个脉冲当量为1um。采用2片双可再触发单稳态多谐振荡器74LS123，来构成四倍频电路，电路如图5所示。 74LS123是一种内含两个单稳态功能的单元集成电路，两路独立工作，可以接成上升沿触发方式，也可以接成下降沿触发方式，利用74LS123 上、下沿均可触发这一特点来构成四倍频电路。合理选择电阻R1、R2、R3、R4的阻值，可以得到脉宽相等的脉冲信号。改变这些电阻的阻值，可以得到不同占空比的脉冲信号。由74LS123 得到UA、UB的上升和下降沿脉冲信号，再经过由四只二极管组成的四输入端或门，最后输出的即为四倍频的脉冲信号。 图5 由二片74LS123组成四倍频电路 六、基于DSP的四倍频细分电路