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直拉硅单晶工艺培训理论基础 单晶：詹文平 文字描述: 硅材料的发展 文字说明: 直拉单晶硅工艺学象其他科学一样，随着社会的需要和生产的发展逐渐发展起 来。十九世纪，人们发现某些矿物，如硫化锌、氧化铜具有单向导电性能，并用它 做成整流器件，显示出独特的优点，使半导体材料得到初步应用。后来，人们经过 深入研究，制造出多种半导体材料。1918年，切克劳斯基 （J·Czochralski）发表 了用直拉法从熔体中生长单晶的论文，为用直拉法生长半导体材料奠定了理论基 础，从此，直拉法飞速发展，成为从熔体中获得单晶一种常用的重要方法。目前一 些重要的半导体材料，如硅单晶，锗单晶，红宝石等大部分是用直拉法生长的。直 拉锗单晶首先登上大规模工业生产的舞台，它工艺简单，生产效率高，成本低，发 展迅速；但是，锗单晶有不可克服的缺点：热稳定性差，电学性能较低，原料来源 少，应用和生产都受到一定限制。六十年代，人们发展了半导体材料硅单晶，它一 登上半导体材料舞台，就显示了独特优点：硬度大，电学热稳定性好，能在较高和 较低温度下稳定工作，原料来源丰富。地球上25.8%是硅，是地球上锗的四万倍，真 是取之不尽，用之不竭。 文字描述: 硅元素的分布及存在形式 文字说明: 我们脚下的泥土、石头和沙子，我们 使用的砖、瓦、水泥、玻璃和陶瓷等等， 这些我们在日常生活中经常遇到的物质， 都是硅的化合物。 硅作为仅次于氧的最丰富的元素存在于地 壳中，约占地表岩石的四分之一。化学元 素符号Si，由于硅易于与氧结合，自然界 的硅多数以硅的氧化物（二氧化硅SiO2） 和硅酸盐的形式存在。自然界中没有游离 态（纯净）的硅存在，纯净的硅都是用人 工方法制取的。人工方法制备硅主要有直 Si 拉法（CZ法）和悬浮区熔法（FZ法）等。 （下节课讲） Smithsonian Magazine Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software For evaluation only. 文字描述: 纯净的硅有什么用途？ 图片说明: 硅是一种典型的半导体材料，其导电性能介于导体与绝缘体之间，导电率 不及金属，但受热后电阻随温度升高而迅速减小，导电性能随温度升高而增 加。这一特点决定了硅集成电路工作温度的上限值。 如果硅的纯度不够，杂质含量超标将严重影响产品性能和寿命。 硅是重要的半导体材料，电子工业上使用的硅应具有高纯度和优良的电学和机 械等性能。硅是产量最大、应用最广的半导体材料，它的产量和用量标志着一 个国家的电子工业水平。 Generated by Foxit PDF Creator © Foxit Software For evaluation only. 文字描述: 晶体的理论基础 文字说明: 晶体和非晶体不同，有很多独特的性质，在大量感性认识的基础上，经过深 入研究，确定晶体是由原子、分子或离子等在空间按一定规律排列组成的。这些粒子 在空间排列具有周期性，对称性。相同粒子在空间不同排列，晶体具有不同外形，不 同的性质。不同粒子相同的排列，晶体性质也不相同。为了研究晶体中原子、分子或 离子的排列，晶体性质也不相同。为了研究晶体中原子、分子或离子的排列，把这些 微粒的重心作为一个几何点，叫做结点（或格点），微粒的分布规律用格点表示。晶 体中有无限多在空间按一定规律分布的格点，称为空间点阵。 空间点阵中，通过两个格点作一条直线，这一直线上一定含有无数格点，这样的 直线叫晶列，晶体外表的晶棱就是晶列。互相平行的晶列叫晶列族，一