纳米精度测量技术和空间数字化测量技术(部分).pptVIP

现代仪器科学的前沿技术 纳米精度测量技术 空间数字化测量技术 现代科技的特点 ● 改变21世纪的三大科技 信息科技/生命科技/材料科技 ● 信息技术成为推动科学技术和经济高 速发展的关键技术 ● 信息技术包括测量技术，计算机技术 和通讯技术，测量技术是源头、关键 基础。 测控科学的地位和作用 ● 伟大科学家门捷列夫曾断言，科学是从 测量开始 的，没有测量就没有科学。 ● 测控技术及仪器是认识与改造物质世界的永恒重 要基础和手段。 ● 人类的生存发展依赖于测控，“农轻重、海陆空、 吃穿用”，测控技术无所不存、无处不有。 ● 科学技术重大发现与创新离不开测试与仪器。许多 重要的发现都是通过测量而得到的。 ● 现代战争中，先进的测控系统已成为精确打击武 器装备的重要组成部分。 重视与大力发展测控技术已成为大趋势 ● 测控技术与仪器是国家科技水平和生活水平 的重要标志。世界各发达国家均将测控技术 列为重要发展领域。（日本列为21世纪首 位，欧共体15项专项之一，美国更大力度支 持。） ● 测试技术是多学科交叉与融合，研究领域广 泛。 研究热点前沿技术主要有 1. 微纳米测量及微系统（MEMS NEMS） 2. 空间数字化测量技术 3. 远距离遥测技术 4. 光纤分布式网络测试技术与智能结构系统 5. 全球定位系统（GPS）应用 6. 非常规与恶劣环境下的测量 7. 环境对测试的影响与控制 8. 现代精度理论及实用方法 9. 生物传感技术与仿生测量 10. 生物医学无创伤检测和OCT 几个前沿热点技术 纳米精度测量技术 （2）纳米测量仪： 扫描探针显微镜（SPM）— 原子力显微镜（AFM）、 扫描隧道显微（STM）、 扫描力显微镜（SFM）等 线值纳米测量仪 — 纳米坐标测量机 — 线值纳米测量仪 纳米测量关键技术 纳米定位技术：惯性、摩擦力、驱动等 纳米瞄准技术 环境控制技术 误差分离与修正技术 空间数字化测量系统 （1）视觉测量系统 （2）机器人坐标测量系统 （3）经纬仪坐标测量系统 （4）便携式关节测量机 （5）激光跟踪干涉测量 （6）光学数码柔性坐标测量机 便携式关节测量机 单站激光跟踪干涉仪 激光跟踪干涉仪精度标定 激光跟踪干涉仪在车间的应用 精度理论及应用 （1）动态精度理论：误差源分析、建模 （2）误差分离与修正技术 （3）测量不确定度原理及应用 悬臂式坐标测量机误差分离与修正 分离与修正结果 三坐标测量机动态误差分离与修正 关节式测量机测量汽车车身外壳（2） * 纳米精度测量技术 空间数字化测量技术 现代精度理论及应用 （1）微纳技术发展 自70年代开始，首先由美国学者提出微机械设想，直到1989年开始形成世界性的MEMS技术，它把信息获取、处理和执行集成为一体，由此进入了微尺寸的新领域。 MEMS被认为是21世纪广泛应用的新兴技术，各国大量投入，进展瞩目，每年以10％－20％的速率增长。 通常认为微尺寸包含微米和纳米量级尺寸，对微纳米测量则有： 微米测量：0.1um 微纳米测量: 100nm 深纳米测量：10nm 标普纳米量块快速检测仪 美国NIST分子测量机 采用三点对称式机台设计，符合阿贝原理的位置测量系统 working volume : 100*100*100 mm 线性步进压电马达+光栅尺 MEMS Probe Diameter: 0.3mm Uncertainty: 50nm 荷兰Eindhoven大学高精度3D-CMM 采用传统的高精度CMM机台，新开发接触式的光纤感应及非接触式CCD感应的双探头系统 测量范围为25×40×25mm Probe Diameter: 25 um Uncertainty: 100nm 德国PTB的Special CMM 合肥工业大学承担的国际重大合作项目 纳米三坐标测量机方案 测量范围：25mm×25mm×10mm 测量不确定度：10nm 共平面二维工作台 平面光栅二维测量系统原理 汽车车身多视觉测量站 机器人本体 测头 基于机器人坐标测量原理 实际机器人坐标测量系统 ? 1 ?1 O1X1Y1Z1 ?2 ?