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658 nm半導體雷射穩頻 Frequency Stabilization of Diode Lasers Near 658 nm 劉惠中 Huay-Chung Liou 工業技術研究院量測技術發展中心 謝文賢* 林世聰 Wen-Hsien Hsieh* Shyh-Tsong Lin 國立臺北科技大學光電技術研究所 摘要 這個研究主要是關於一個具有微透鏡（micro lens）的半導體雷射的穩頻。因為此雷射的光束接近圓形且擁有小線寬，所以可輕易地使用在小空間的環境。藉著法布里－珀羅（Fabry-Perot）共振腔的共振模可輕易地將雷射頻率穩定，在十六小時內波長僅變動0.0008 nm。 關鍵詞：半導體雷射、法布里－珀羅共振腔、穩頻。 投稿受理時間：91年3月10日 審查通過時間：91年5月2日 ABSTRACT This research is focused on the frequency stabilization of the semiconductor diode lasers with micro-lens. Since the beam of Micro-Lens laser is nearly circular and has a small linewidth, it can be easily used in small spaces. By employing the resonant modes of the Fabry-Perot cavity to lock the laser frequency, the frequency can be easily stabilized. After the stabilization steps, the wavelength of the laser varies 0.0008 nm during 16 hours. Keywords : semiconductor laser diode, Fabry-Perot cavity, frequency stabilization. 壹、前言 在許多商品化的儀器或者實驗室的裝置中經常使用雷射來作為光源，其中一般常使用的穩頻雷射通常是以穩頻氦氖雷射為主，因其具有較長的共振腔可以達到穩頻的效果。然而，在許多干涉量測的用途中，雷射的體積過於龐大，造成量測系統的安裝困擾，例如：以穩頻氦氖雷射為干涉光源的輪廓儀。為了縮小量測系統的體積及重量，於是半導體雷射成了另種選擇。可是，半導體雷射在實際應用上仍有其困難所在，例如輸出光束的波前遠較氦氖雷射差、線寬亦較大，使得其在對光調整方面上較困難，雖然可以用波面修正鏡組來調整改善波面，以延長共振腔來壓縮線寬大小，但卻也失去了原本體積小的優勢而造價也大幅提高。本文採用過去量測中心所做的對稱性光路設計 [1]，利用對稱性的法布里－珀羅(Fabry-Perot)共振腔穩頻方式，使得穩頻頻率能鎖在同一個共振模上，以獲得一個穩頻的雷射光源。為提高實用性進一步設計成小型模組化架構，並添加溫控裝置以避免法布里－珀羅共振腔受外界溫度的影響。實驗中分別對於穩頻前後的波長進行量測，並分析溫度對法布里－珀羅共振腔造成的影響。 貳、實驗原理與設計 本實驗所採用的對稱性光路如圖一所示 [1]，其原理為利用兩道對稱性光路以些微入射角度差穿透法布里－珀羅共振腔，使其兩道穿透光的頻率有些微偏移，並用光偵測器蒐集兩穿透光的訊號。將光偵測器蒐集的光訊號相減提供作為誤差訊號。誤差訊號經過積分運算後回授到雷射電流驅動模組進行電流調制。如此即可將雷射鎖頻在訊號零點處達到穩頻效果 [1-4]。 實驗中所使用的雷射光源為波長658 　nm具有微透鏡的半導體雷射( 製造公司為BlueSky Research，型號為PS104 )，其輸出光束截面趨近圓形且線寬達到2 MHz的標準 [2]，改善了一般半導體雷射的缺點，其最高功率可達35 mW，遠大於一般氦氖雷射。為了達到模組化的設計，將雷射溫度控制所使用的電熱致冷器、溫度偵測所用的熱敏電阻、準直透鏡及電路等裝置自行組裝設計於體積約只有3.5×3.5×4.0 cm3的空間中，雷射裝置如圖二所示。 由於法布里－珀羅共振腔長(OPL)的溫度係數δ可由下式表示：[5] d(OPL)/ dT˙1/(OPL)≡δ δ＝α＋1/n˙dn/ dT 其中T、α、n、dn/ dT分別為溫度、熱膨脹係數、折射率、折射率溫度係數。 而法布里－珀羅共振頻率的溫度係數dν/ dT可由下式表示： dν/ dT＝－ν˙δ 其中ν為法布里－珀羅共振頻率。 本實驗所使用的法布里－珀羅共振腔其材質為ＢK7，折射率溫度係數為3×10-6 /℃，熱膨脹係數為7.1×10-6 /℃，厚度僅3 mm，半功率光譜