微机电数字地震检波器设计及误差标定补偿方法.docVIP

振　动　与　冲　击 第 ３２卷第 ９期 ＪＵＲＮＡＬＯＦＶＩＲＡＴＩＮＡＮＤＳＨＯＣＫ Ｖｏｌ３２ Ｎｏ．９２０１３　  微机电数字地震检波器设计及误差标定补偿方法 杜　敏１，２，李巧燕１，徐国栋１ （１．防灾科技学院 防灾工程系，河北　三河　０６５２０１； ２．北京工业大学 城市与工程安全减灾教育部重点实验室，北京　１００１２４） 　　摘　要：研制一种新型数字硅 ＭＥＭＳ地震检波器，集成三支硅 ＭＥＭＳ陀螺与加速度计，可提供三维加速度、速度、 角速度及位移等振动信息，可提高检波器的信息量及效率；提出的基于无需指北单轴速率转台的硅 ＭＥＭＳ地震检波器六 位置正反速率标定方法，不仅可提高标定精度与效率，且可减小标定工作量。并经实验验证该数字硅 ＭＥＭＳ地震检波器 样机及标定补偿方法的可行性与适用性。 关键词：微机电系统；地震检波器；加速度计；陀螺；误差标定 中图分类号：ＴＰ２１２；Ｐ３１５．６２　　　文献标识码：Ａ Ｄｅｓｇｎａｎｄｅｒｒｏｒｃａｌｂｒａｔｏｎｏｆａｍｉｒｏｌｃｔｏ ｅｃｈａｎｉａｌｄｉｉａｌｇｅｏｐｈｏｎｅｓｓｅｍ ＤＵＭｉ１， ，ＬＩＱｉｏａｎ，ＸＵＧｕｏｏｎｇ （１．Ｉｓｉｕｔ ｏｆＤｉａｓｅｒｐｒｖｅｎｔｏｎＳｃｉｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｇｙ Ｓａｎｈｅ０６５２０１，Ｃｈｉａ ２．ＢｅｉｉｇＵｎｉｅｒｉｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｇｙ Ｂｅｉｉｇ１００１２４，Ｃｈｉａ 　　Ａｂｓｒａｃｔ　Ａｎｅｗｙｐｅｓｉｍｉ ｇｅｏｐｈｏｎｅ ｉｔｇｒｔｎｇｔｒｅＭＥＭＳａｅｅｅｌｒｍｅｔｒ ａｎｄｇｙｒｓｏｐｅｓ ｗａｓｄｅｖｅｌｐｅｄ． Ｉｃａｎｐｒｖｉｅｉｆｒａｔｏｎｓｏｆｌｎｅａｒａｃｃｅｌｒｔｏｎ，ｌｎｅａｒｖｅｌｃｉｙ ａｎｇｕｌｒｖｅｌｃｉｙａｎｄｖｉｒｔｏｎｄｉｐｌｃｅｍｅｎｔｗｉｈｇｒａｔｙ ｉｐｒｖｅｄｐｅｒｏｒａｎｃｅａｎｄｅｆｉｉｎｃｙ．Ａ ｎｅｗ ｓｘｏｓｔｏｎｐｌｓｒｔｔｏｎｃａｌｂｒｔｏｎｓｈｅｍｅｆｒｔｅｄｉｉａｌｇｅｏｐｈｏｎｅｗａｓ ｐｒｐｏｓｄｗｈｉｈｕｔｌｚｓｏｎｌ ａｓｎｇｌ ａｘｉ ｔｒａｂｌ ｗｉｈｏｕｔｎｏｒｈｒｆｒｎｃｅ．Ｔｈｅｅｘｐｅｒｍｅｎｔｌｒｓｌｓｓｏｗ ｔａｔｔｅ ｐｒｐｏｓｄｍｅｔｏｄｉｐｒｖｅｓｔｅｍｅａｓｒｍｅｎｔｐｒｃｉｉｎ，ａｎｄｖｅｒｆｅｓｔｅｖａｌｄｉｙｏｆｔｅｓｌｃｏｎＭＥＭＳｇｅｏｐｈｏｎｅ． Ｋｅｙｗｏｒｄｓ ｍｉｒ ｅｌｃｔｏｅｃｈａｎｉａｌｓｓｅｍ （ＭＥＭＳ）；ｇｅｏｐｈｏｎｅ ａｃｃｅｌｒｍｅｔｒ ｇｙｒｓｏｐｅ ｅｒｏｒｃａｌｂｒｔｏｎ  　　地震仪历经光点、模拟及数字化变化，而数字地震 仪由 １６位发展 至 ２４位，其 核 心 敏 感 部 件 检 波 器 亦 得  度、振动位移等信息。针对未来科学、全面的地震信息 采集组网需求，须进行可输出多参量、全面信息的小型 以不同程度发展 ［１］ 高性能地震检波器研究。另外，由于硅 ＭＥＭＳ惯 性 器 想的原始信号，后期处理效果大打折扣，地震检波器已 成为制约石油物探技术继续发展与提高的主要瓶颈之 件自身工作原理、结构及制造水平等内因所限，存在一 系列固有误差源，在外部条件激励下 会 产 生 各 种 测 量 一 ［２－３］ 误差 ［１４］。须据误差数学模型，设计准确的系统误差标 ＳｙｓｅｍｓＭＥＭＳ）技术的发展，Ｉ／ 等公司利用 ＭＥＭＳ技 术研制出新型数字地震检波器 ［４－６］。ＭＥＭＳ地震检波 器具有体积小、功耗低、重量轻、智能化、可靠性高等优 点 ［７－８］，能较好满 足 自 然 及 人 工 地 震 的 野 外 流 动 观 测 需求，为活 动 断 层 探 测、监 测 及 震 后 观 测 提 供 非 常 便 定补偿方 法，提 高 器 件 精 度 ［１５］。 文 献 ［１６］提 出 捷 联 Ｉ Ｕ静态六位置标定方法，利 用 六 位 置 地 球 自 转 角 速 率及重 力 加 速 度 标 定 Ｉ Ｕ 的 主 要 误 差 系 数。 而 硅 ＭＥＭＳ惯性器件 的 工 作 机 理、加 工 工 艺 及 精 度 不 同 于 传统机械或光学惯性器件，不能沿用 传 统 误 差 标 定 方 捷、灵活的临时台网组成方式 ［９－１０］ 法。而目前尚无成熟适用于 ＭＥＭＳ检波器的误差标定 其多分量采集产生重要影响 ［１１］ 补偿方法 ［１７］。 ＭＥＭＳ地震检波器以惯性传感器 ＭＥＭＳ加速度计 本文 研 制 新 型 数 字 硅 ＭＥＭＳ地 震 检 波 器，用 硅 为核心 ［１２－１３］ ＭＥＭＳ陀螺与加速度计，通过轻质、高强的正交结构及 反映空间三维方向的振动信息，更无 法 提 供 三 维 角 速 基金项目：中央高校基 本 科 研 业 务 费 专 向 资 金