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俞世吉等: 硬质合金表面 - 制备金刚石薄膜去钴预处理的研究 W C Co MW PCVD 硬质合金表面 - W C Co MW PCVD 制备金刚石薄膜去钴预处理的研究① ( ) 1997 年 11 月 10 日收到 ② 俞世吉 邬钦崇　张志明 　周永成　汪建华 ( 中国科学院等离子体物理研究所　合肥 230031) ( 上海交通大学应用化学系　上海 200030) ( 武汉化工学院　武汉 430073) 摘　　要 研究了 硬质合金刀具表面微波等离子体化学气相沉积 ( ) 制备金 W C Co MW PCVD 刚石薄膜时不同的去钴预处理方式的影响。扫描电子显微镜形貌观察和喇曼谱分析表明, 利用氢氧等离子体处理方式有显著的去钴效果, 相应沉积获得的金刚石薄膜质量相对较 高。与酸腐蚀处理相比, 微波等离子体化学气相沉积装置中实现氢氧等离子体处理方式 具有独特的优越性。 关键词: 硬质合金, 金刚石薄膜, 去钴预处理 W C Co MW PCVD 一、引　　言 　　金刚石薄膜具有硬度高、耐磨性强、摩擦系数低、导热系数高、耐强腐蚀、化学稳定性好等 独特性能, 而且与高温高压合成的人造金刚石相比较, 金刚石薄膜还有易于制备、生产成本相对 较低, 特别是它可以在不同形状的衬底材料表面实现大面积沉积等优点[ 1, 2 ] , 因此金刚石薄膜在切 削工具表面性能改进方面将是一种极有价值和生产应用前景的涂层材料。本世纪80 年代初随着低 压气相合成金刚石技术的出现而逐步发展起来各种制备金刚石薄膜的手段, 主要有热丝法、微波 法、等离子体炬法、火焰法等。90 年代以来一些技术先进国家如日本、美国等采用热丝法在硬质 合金刀具表面实现了金刚石薄膜的沉积, 从而改善了硬质合金刀具的切削性能, 诸如提高刀具使 [ 3 ] 用寿命, 降低切削对象的表面粗糙度等 。近年来这方面也取得了一些研究进展, 并且已经部分进 入生产应用领域。国内金刚石薄膜刀具的研究目前主要以热丝法为主, 研究进展报道较少。如何 采取合适的基体预处理方式及金刚石薄膜的沉积工艺, 以达到在硬质合金刀具表面沉积出高质量 [ 4 ] 金刚石薄膜以及提高薄膜与基体之间的结合力的目的是现在主要探索的问题 。我们在国家 863 计划资助下研制了一种石英钟罩式微波等离子体化学气相沉积装置, 在此基础上研究了