薄膜涂层弹性模量的表征与评价研究.pdfVIP

2007年 5月 机 械 科 学 与 技 术 M ay 2007 第 26卷 第 5期 M echan ical Science and Techno logy for A ero sp ace Engineering Vol. 26 No. 5 薄膜涂层弹性模量的表征与评价研究 唐达培 ,高 　庆 (西南交通大学 应用力学与工程系 ,成都 　61003 1) 唐达培 摘 　要 :因薄膜有其极小的厚度和特殊的微结构等特征 ,它与相同成分的块体材料相比,二者的弹 性模量在数值大小 、测试设备 、表征方法和技术上都有一定的差异 。给出了超声波测速法 、弯曲法 、 鼓膜法和纳米压入法等六种适合于表征薄膜弹性模量的方法 ,研究了它们的原理和理论模型 ,分析 和讨论了它们的特点和适用性 ,解释了用不同表征方法得出的弹性模量在数值上存在差异的原因。 在实际测量中 ,应结合各表征方法和薄膜 自身的特点加以灵活选用 。 关 　键 　词 :薄膜 ;弹性模量 ;表征方法 中图分类号 : TB43　　　文献标识码 : A 　　　　　文章编号 :(2007) 050552 06 Character iza tion and Eva lua tion of Ela stic M odulus of F ilm Coa tings Tang D ap ei, Gao Q ing (D ep artm ent of App lied M echan ic s and Engineering, Southwe st J iaotong U n iversity, Chengdu 61003 1) A b stract: Since film ha s sm all th ickne ss and p ecu liar m icro structu re, its num eric value, te sting techno logy and characterization m ethod in term s of ela stic modu lu s differ to som e degree from the bu lk m aterial of the sam e k ind. Th is p ap er p re sen ted six m ethod s for characterizing its ela stic modu lu s and studied their p rincip le s and theoretical models, featu re s and app lication s. Moreover it exp lained the rea son s for difference s in num eric value s of ela stic modu lu s characterized by differen t m ethod s. The characterization m ethod s shou ld be app lied accord ing to featu re s of the film. Key words: film ; ela stic modu lu s; characterization m ethod ) 　　薄膜材料在微电子技术 、微电子机械系统及表 生长的无定型结构 、必须附在某一基体上 、存在表 ( ) 面