不掺杂膜近红外光吸收系数激光感生变化的实验研究.pdfVIP

北 学学 然 学版 , , , 月 京大 报 自 科 第 卷 第 期 年 , , , 不掺杂 膜近红外光吸收系数激光 感生变化 的实验研究 王 德煌 王 威礼 李桂棠 北京大学物理学 系 集成光 电子学 国家重点联合实验室半导体所 区 , 北京 , 庄 婉如 段树坤 学 国 点 室 导 区 国 学 导 , , 集成光 电子 家重 联合实验 半 体所 中 科 院半 体研 究所 北京 一 摘 要 报道 技术生长不掺杂 膜 , 在 激光场作用 下 , 其近 红外光 吸收系数 变化 的实验结果 。 关镇词 膜 吸收系数 激光辐 照 己 童 , , 刀 砚 二 已经 知道金属 有机化学气相 外延技术 能够生 长大面 积 高质量 的半导体膜 , 这 、 、 、 以 回 促进 了发光与激光器件 光探测 光 开关 光调制和光放大器件 及光 计算 路等高新技术 的 , , ’ , 一 发展 一般 以薄膜为基础 结构 的光 电子器 件经 常处 于激光场下工 作 〔 〕 因此深入研 究半导体 光学 在 光场作用 下 现 , 寻找 化规 , 对光 学 础 理 和 上述光 子 膜 性质 激 变化 象 其变 律 将