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2017-09-17 发布于重庆
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单晶硅超精密切削表面质量各向异性的研究.pdf

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年月 2007 2 航空精密制造技术 Feb.2007 第卷第期 AVIATIONPRECISIONMANUFACTURINGTECHNOLOGY 43 1 Vol.43No.1 单晶硅超精密切削表面质量各向异性的研究* 1 2 王明海 ,卢泽生 (沈阳航空工业学院,沈阳 ; 哈尔滨工业大学机电工程学院 ,哈尔滨 ) 1. 110034 2. 150001 摘要分析了单晶硅超精密切削时被加工晶面和滑移面间的相对关系以及单晶硅的力学特性,基于单 [ ] 晶硅超精密切削加工脆塑转变机理,模拟了分别以单晶硅、、晶面为被加工面时的表面质量的 (111)(110)(100) 各向异性特性。模拟结果表明这些晶面在不同晶向方向上表面质量呈现明显的各向异性特性,而以单晶硅晶面作为被加工面时可以得到最好的加工表面质量。 (111) 关键词单晶硅;表面质量;各向异性;超精密切削 [ ] 中图分类号 : 文献标识码文章编号 ( ) [ ]TG506.7TH16 [ ]A [ ]1003-5451200701-0013-04 ResearchonOrientationdependenceofSurfaceQualityInvolved inUltra-PrecisionTurningofSingleCrystalSilicon WANGMing-hai,LUZe-sheng ( ) 1.ShenyuangInstituteofAeronauticalEngineering,Shenyang110034;2.HarbinInstituteofTechnology,Haerbin150001 [Abstract] Thecrystallographicrelationsofmachinedcrystalplaneandslipplaneinvolvedinultra-precisionturningandthe mechanicscharacteristicofsinglecrystalsiliconarestudied.Basedonthebrittle-ductiletransitionmechanismofultra-precision turningofsinglecrystalsilicon,orientationdependenceofsurfacequalityofsiliconwhichmachinedrespectivelyalongthe(111), (110)and (100)crystalplaneareinvestigatedbyusingcomputersimulationandturningexperiment.Accordingtothesimulation results,surfacequalityofallthesemachinedcrystalplaneshaveobviouslyshowedcrystallographicorientationdependenceand(111) crystalplanehasbestmachinabilitythanothers. [Keywords]