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第 25 卷第 1 期 　　　　　　　　　物理测试 　 Vol . 25 ,No . 1 2007 年 1 月 　 　 　　　　　　　　　　　Phy sics Examination and Testing 　J an . 2007 多层膜微结构参数的低角 X 射线衍射分析 王超群 , 　纪 　红 (北京有色金属研究总院测试中心 ,北京 100088) 摘 　要 :各种铁磁性金属 、非铁磁性金属组成的磁性多层膜系统的性质及微结构的研究是凝聚态物理及材料科学 ( ) 中的一个热点 。它们的巨磁电阻 GM R 效应强烈地依赖于多层膜的微结构 ,如周期厚度 、界面粗糙度 、生长取向 ( ) 以及晶粒度等 。采用掠入射 X 射线衍射分析 GIXA 法表征多层膜的微结构 ,具有无损和空间分辨率高的特点 。 通过 GIXA 可获得有关薄膜的密度 、厚度以及表面粗糙度等微观结构信息 。文章对上述有关的分析方法进行了 评述 。 关键词 :多层膜 ;微结构 ;XRD ; 反射率 ; 周期厚度 ;界面粗糙度 中图分类号 : T G115 . 22 　　文献标识码 :A 　　文章编号 : 100 10777 (2007) 0 1003703 Low Angle Xray Diffraction Analysis of Multilayered Structures WAN G Chaoqun , 　J I Hon g ( General Research In stit ut e for Nonferrou s Met al s Beij ing , Beij ing 100088 , China) ( ) Abstract :It i s well known t hat t he p hy sical p rop erities of multilayer s for examp le magnetic met al ultt hin film p re p ared by PVD are clo sely relat ed to t heir int erfacial st ruct ure . Therefore it i s essential to charact erize t he micro st ruct ural p aramet er in side t he multilayer such a s t he roughness , sublayer t hickness , atomic den sit y and int er diffu sion etc . Among t he variet y of exp eriment al t echniques , Xray diff raction i s one of widely u sed to charact erize t he micro st ruct ure of multilayer syst em . Low angle Xray diffraction p rofiles can p rovide det ail informat