激光技术在太阳能电池制造中的应用.pdfVIP

激光技术在太阳能电池制造中的应用.pdf

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Technical Article 20% (doping) (doping) nger 20% 100kHz TCO (ablation) TCO P2P3 P2P3P1 25%-35% 35-45kHz 2J/cm2 25J 40m 1064nm532nm 1 P1P2P3 30m80mP1 10ns 80ns 8ns40ns1kHz100kHz TCOZnOSnO2 Jan Wieduwilt, 2011 Nov 21 Technical Article 1 (Mo) TCO Si CdTe (1064nm) 4-7J/cm2 6.8 J/cm2 1.05 J/cm2 (532nm) 6-10 J/cm2 1.6 J/cm2 0.07 J/cm2 Source: Trumpf GmbH + Co. KG 1 (P1): (TCO)

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