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光 电 子 ·激 光
第 15 卷 第 6 期 2004 年 6 月 Vol . 15 No . 6 Jun . 2004
J ournal of Optoelectronics ·L aser
马赫曾德干涉型波分复用器的容差分析
夏君磊 , 郜定山 , 安俊明 , 李 健 , 吴远大 , 胡雄伟
( 中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心 ,北京 100083)
( )
摘要 :通过耦合模理论分析了马赫曾德干涉 MZI 型波分复用器各结构参数工艺误差对器件串扰的影
响 , 比较了各结构参数的工艺容差性 。结果表明 ,如果串扰要求在 - 30 dB 以下 ,则波导臂长差的容差性
μ
为 1 % ,耦合长度的容差性为 2 % ,波导宽度的容差性较好 ;容差达到 0 . 6 m 时 , 串扰仍然在 - 58 dB ;波
导间距对工艺精度要求最高 ,要求误差小于 0 . 03 μ
m 。
( )
关键词 :马赫曾德干涉仪 MZI ; 波分复用器 ; 容差 ; 串扰
( )
中图分类号 :TN256 文献标识码 :A 文章编号 2004
Tolerance Analyses of the MachZehnder Interferometric Demutiplexer
XIA Junlei , GAO Dingshan , AN Junming , L I Jian , WU Yuanda , HU Xiongwei
(RD Center of Optoelectronics ,Institute of Semiconductor ,Chinese Academy of Science ,Beijing 100083 ,China)
Abstract : The coupledmode theory wa s adopted to analyze the structure p arameter s′influence on the
cro s stalk and the tolerance of every structure p arameter in the MachZehnder interferometric (MZI) demuti
plexer . The analy sis re sult s gave the tolerable error of every p arameter with the cro s stalk le s s than - 30 dB .
The tolerable error s of th
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