低损耗离子交换玻璃基光波导制备与分析.pdfVIP

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第24卷 第5期 无 机 材 料 学 报 Vol.24,No.5 2009年9月   JournalofInorganicMaterials  Sep.,2009 文章编号:1000324X(2009)05104104 DOI:10.3724/SP.J.1077.2009.01041 低损耗离子交换玻璃基光波导制备与分析 郝寅雷,郑伟伟,江舒杭,谷金辉,孙一翎,杨建义, 李锡华,周 强,江晓清,王明华 (浙江大学信息与电子工程学系,杭州310027) 摘 要:考虑到离子交换和离子扩散工艺的特殊要求,设计并熔制了适合于离子交换工艺的硅酸盐玻璃材料 + + SiOBOAlOR’ORO(R’=Ca,Mg;R=Na,K).采用Ag/Na熔盐离子交换和电场辅助离子扩散工艺在这种 2 2 3 2 3 2 + 玻璃材料基片上获得了掩埋式条形光波导.光学显微镜和电子探针分析表明高折射率的Ag扩散区位于玻璃基片表 c i 面以下约10m处,形成光波导的芯部.光波导芯部尺寸约为8m×8m,与单模光纤芯径尺寸相当,保证了较低的 μ μ μ 光纤耦合损耗.对光波导的测量结果得出:在波长为1.5m处条形光波导的传输损耗约为0.1dB/cm,与单模光纤的 μ n 耦合损耗约为0.2~0.3dB.条形光波导的传输损耗与材料本身的损耗接近,表现出掩埋式光波导的低损耗特征.分 a 析表明,经过进一步优化,这种光波导制备技术可用于低损耗光波导器件的制作. 关 键 词:离子交换;玻璃;光波导 g 中图分类号:TN252      文献标识码:A r o ManufacturingandAnalysisofLowlossIonexchangedGlassbasedWaveguide n s I HAOYinLei,ZHENGWeiWei,JIANGShuHang,GUJinHui,SUNYiLing,YANGJianYi, l LIXiHua,ZHOUQiang,JIANGXiaoQing,WANGMingHua f a (DepartmentofInformationScienceandElectronicEngineering,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China) o i r Abstract:SilicateglassofsystemS

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