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第24卷 第5期 无 机 材 料 学 报 Vol.24,No.5
2009年9月 JournalofInorganicMaterials Sep.,2009
文章编号:1000324X(2009)05104104 DOI:10.3724/SP.J.1077.2009.01041
低损耗离子交换玻璃基光波导制备与分析
郝寅雷,郑伟伟,江舒杭,谷金辉,孙一翎,杨建义,
李锡华,周 强,江晓清,王明华
(浙江大学信息与电子工程学系,杭州310027)
摘 要:考虑到离子交换和离子扩散工艺的特殊要求,设计并熔制了适合于离子交换工艺的硅酸盐玻璃材料
+ +
SiOBOAlOR’ORO(R’=Ca,Mg;R=Na,K).采用Ag/Na熔盐离子交换和电场辅助离子扩散工艺在这种
2 2 3 2 3 2
+
玻璃材料基片上获得了掩埋式条形光波导.光学显微镜和电子探针分析表明高折射率的Ag扩散区位于玻璃基片表
c
i
面以下约10m处,形成光波导的芯部.光波导芯部尺寸约为8m×8m,与单模光纤芯径尺寸相当,保证了较低的
μ μ μ
光纤耦合损耗.对光波导的测量结果得出:在波长为1.5m处条形光波导的传输损耗约为0.1dB/cm,与单模光纤的
μ n
耦合损耗约为0.2~0.3dB.条形光波导的传输损耗与材料本身的损耗接近,表现出掩埋式光波导的低损耗特征.分
a
析表明,经过进一步优化,这种光波导制备技术可用于低损耗光波导器件的制作.
关 键 词:离子交换;玻璃;光波导 g
中图分类号:TN252 文献标识码:A r
o
ManufacturingandAnalysisofLowlossIonexchangedGlassbasedWaveguide
n s
I
HAOYinLei,ZHENGWeiWei,JIANGShuHang,GUJinHui,SUNYiLing,YANGJianYi,
l
LIXiHua,ZHOUQiang,JIANGXiaoQing,WANGMingHua
f a
(DepartmentofInformationScienceandElectronicEngineering,ZhejiangUniversity,Hangzhou310027,China)
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Abstract:SilicateglassofsystemS
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