使用原子力显微镜测量刻线边缘粗糙度的影响因素.pdfVIP

下载本文档

35
0
约4.58万字
约 10页
2017-09-16 发布于重庆
举报
版权申诉

使用原子力显微镜测量刻线边缘粗糙度的影响因素.pdf

1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第卷第期光学精密工程１７４　Ｖｏｌ．１７Ｎｏ．４　　　　　　　　　　ＯｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ　　　　　　　年月　ｐｇｇ２００９４Ａｒ．２００９　　　ｐ文章编号（）１００４９２４Ｘ２００９０４０８３９１０　使用原子力显微镜测量刻线边缘粗糙度的影响因素赵学增，李宁，周法权，李洪波　（哈尔滨工业大学机械电子工程学院，黑龙江哈尔滨１５０００１）摘要：为了满足微电子制造技术中不断提高的刻线边缘粗糙度测量与控制精度的要求，对使用原子力显微镜（）测ＡＦＭ量刻线边缘粗糙度的影响因素进行了研究。基于图像处理技术从单晶硅刻线样本的ＡＦＭ测量图像中提取出线边缘粗糙度，并确定出其量化表征的参数。然后，根据线边缘粗糙度测量与表征的特点，对各种影响因素，包括探针针尖尺寸与形状的非理想性、扫描图像的噪声、扫描采样间隔、压电晶体驱动精度、悬臂梁振动以及线边缘检测算法中的自由ＡＦＭ参数等进行了理论和实验分析，并分别提出了抑制及修正的方法。研究表明，在分析各种可能导致测量误差的影响因素的基础上，消除或减小其影响，可以提高刻线边缘粗糙度测量的准确度，为实现纳米尺度刻线形貌测量的精度要求提供理论与方法上的支持。关键词：纳米测量；线边缘粗糙度；原子力显微镜；测量误差分析　　中图分类号：；；文献标识码：ＴＧ８４ＴＨ１６１ＴＨ７４２．９Ａ　　犐狀犳犾狌犲狀犮犲犳犪犮狋狅狉狊狅犳犾犻狀犲犲犱犲狉狅狌犺狀犲狊狊犿犲犪狊狌狉犲犱犫犃犉犕犵犵狔，，，ＺＨＡＯＸｕｅｚｅｎＬＩＮｉｎＺＨＯＵＦａｕａｎＬｉＨｏｎｂｏｇｇｑｇ（，，，）犛犮犺狅狅犾狅犕犲犮犺犪狋狉狅狀犻犮狊犈狀犻狀犲犲狉犻狀犎犪狉犫犻狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犜犲犮犺狀狅犾狅犎犪狉犫犻狀１５０００１犆犺犻狀犪犳犵犵犳犵狔：犃犫狊狋狉犪犮狋ＩｎｏｒｄｅｒｔｏｉｍｒｏｖｅｔｈｅｍｅａｓｕｒｉｎｒｅｃｉｓｉｏｎａｎｄｃｏｎｔｒｏｌｉｎｒｅｃｉｓｉｏｎｏｆｔｈｅＬｉｎｅＥｄｅｐｇｐｇｐ