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第 卷第 期 光 谱 学 与 光 谱 分 析
年 月
近空间升华法制备多晶薄膜的研究
杨定宇 夏庚培 郑家贵 冯良桓 蔡亚平
四川大学材料科学与工程学院四川 成都
成都信息工程学院光电技术系四川 成都
摘 要 系统地研究了近空间升华法 制备 薄膜沉积速率的影响因素发现 薄膜的沉积速率
随升华源温度的升高而增大但随衬底温度和沉积气压的上升而下降对所制备样品的结构表面形貌和光
谱透过率特性进行了测试结果表明不同氧分压下沉积的 薄膜沿 晶向择优生长 氛围
下退火后 晶向的优势得到进一步加强不同氧分压制备的 薄膜致密且粒径均匀晶粒的大小
随着衬底温度的升高而增大但薄膜的粗糙度也随之增大随着 薄膜厚度的减小可见光中短波段
的透过率有所增大有利于提高太阳电池的短波光谱响应并将 制备的 多晶薄膜用于 太阳
电池的制作获得了的光电转换效率初步验证了该制作工艺的可行性
关键词 太阳电池近空间升华法 多晶薄膜
中图分类号 文献标识码
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