操作奈米粒子之动力学分析与控制（I）.pdfVIP

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2017-09-15 发布于重庆
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操作奈米粒子之动力学分析与控制（I）.pdf

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操作奈米粒子之動力學分析與控制 (I) (NSC91-2212-E-009-026, 2002/08/01 ~ 2003/07/31) 呂宗熙新竹市國立交通大學機械工程研究所 Abstract: Nanotechnology is an important challenge, for which nanoparticle manipulation plays an important role in the assembly of nano elements. In this study, the dynamic equation of system plant is established by van der Waals force, friction, capillary forces etc. To push nanoparticles, strain gauges are used as sensors to actuate an X-Y stage in an atomic force microscopy system. A strategy of pushing nanoparticles is developed based on sliding mode control. Moreover, afuzzy controller is responsible for compensating tip-particle contact loss according to feedback signals of a laser-detector system. According to position control result, experimental results of gold nanoparticle manipulation are presented. Keywords: Nanoparticle, Nanoparticle Manipulation, AFM, X-Y stage 中文摘要: 奈米粒子、操作奈米粒子、原子力顯微鏡、X-Y 平台 1. INTRODUCTION 6 are stiffness coefficients of two PZT k k 1510 N / m x y translators of the XY scanning stage.  and  are the By precise control of atoms, molecules, or nano scale x y objects, new sensors and man-made materials, tera-byte stage driving force in x-direct