磷酸盐钕玻璃表面亚表面损伤特性实验研究.pdfVIP

第 卷 第 期 光 学 学 报 ， ２８ ２ Ｖｏｌ．２８ Ｎｏ．２ 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ２ 犉犲犫狉狌犪狉 ２００８ 犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃 狔 文章编号： （ ） ０２５３２２３９２００８０２０２６８０５ 磷酸盐钕玻璃表面／亚表面损伤特性实验研究 ， 张 伟１２ 朱健强１ 　 　 １ 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室，上海 ２０１８００ （ ２ 中国科学院研究生院，北京 １０００３９ ） 摘要 系统地研究了光学研磨过程中，磨料粒径、载荷大小以及机床转速对钕玻璃表面及亚表面损伤的影响。结 　 果表明，机床转速和载荷基本不改变材料表面粗糙度，而较大载荷或较低机床转速产生较大的亚表面缺陷，表面粗 糙度和亚表面缺陷缺陷深度基本与最大磨料粒径呈正比，载荷增倍使亚表面缺陷与表面粗糙度的常数比值增加 ０．０５。研究结果为钕玻璃加工工艺改进提供了参考依据。 关键词 光学检测；光学加工；亚表面损伤；激光玻璃；激光损伤阈值 　 中图分类号 ＴＮ２４４ 文献标识码 Ａ 　 　　　 　 ／ 犈狓犲狉犻犿犲狀狋犪犾犐狀狏犲狊狋犻犪狋犻狅狀狅狀犛狌狉犳犪犮犲犛狌犫狊狌狉犳犪犮犲犇犪犿犪犲狅犳 狆 犵 犵 犖犱犇狅犲犱犘犺狅狊犺犪狋犲犌犾犪狊狊 狆 狆 ， １２ １ 犣犺犪狀 犠犲犻 犣犺狌犑犻犪狀犻犪狀 犵 　 狇 犵 １ ， ， 犖犪狋犻狅狀犪犾犔犪犫狅狉犪狋狅狉 狅犎犻犺犘狅狑犲狉犔犪狊犲狉犪狀犱犘犺狊犻犮狊 犛犺犪狀犺犪犻犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犗狋犻犮狊犪狀犱犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊 烄 狔 犳 犵 狔 犵 犳 狆 烌 ， ， 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿 狅犛犮犻犲狀犮犲狊 犛犺犪狀犺犪犻２０１８００ 犆犺犻狀犪 狔 犳 犵 ２