对表面催化氧化反应的同步辐射光电子能谱研究39;.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 , 年 月 , 对 表面催化氧化反应 的 ‘ 同步辐射光 电子能谱研究 ‘ “ “ 王 平 吴 陆尔 许振 季 航 赵 秀 晓 建新 徐彭寿 东 嘉 特 中国科学技术大学物理 系 合肥 。。 》 以 国 学技术大学 心 肥 。。 中 科 结构成分分析 中 合 哆 中国科学技术大学 国家 同步辐射实验室 合肥 。。 诊 中国科学 院半导体研 究所 北京 搞要 利用 同步辐射光 电子 能谱研 究 了 对 型 表面 的催化 氧化 反 应过 程 对 、 于 体 系 的 和 价带光 电子 能谱研 究可知 , 在 氧 吸 附的过程 中, 、 和 之 间发生 了化学反应 , 更 易于 与 在 吸 附过程 中与 衬底之 间的界面反 应形成 的 一 化合物 中的 健合 碱金属 的存在并不直接和 发 生作用 , 而 是起 到一 种催化剂 的作用 , 增加 了 电荷 向氧传输 的能力 使得 的分解和 吸 附变得更加 容 易 在 芯 能谱 中, 一 之 间的反应 并不是很 明显 , 而 在价带谱 中则 可 以 明显地看 到 一 之 间 反应所形成 的 氧化物 的发射 峰 , 因此 对 于研 究 由于碱金 属 引起 的半导体表 面 的催化氧 化过程 , 价带谱要 比芯 能级谱具有更丰富 的信 息和 灵敏度 由于 碱金 属 的存在增 强 了 电荷 向 的传输能力 , 使得在不大 的氧暴露量 下就可 以形成 的氧化物薄层 ,