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第 54 卷 第 5 期 2005 年 5 月 物 理 学 报 Vol. 54 ,No. 5 ,May ,2005
( )
10003290200554 05 239904 ACTA PHYSICA SINICA 2005 Chin. Phys. Soc.
反应等离子喷涂纳米 TiN 涂层的显微硬度
及微观结构研究
) ) ) ) ) ) ) ) )
冯文然1 2 阎殿然2 何继宁2 陈光良1 顾伟超1 张谷令1 刘赤子1 杨思泽1
1) ( 中国科学院物理研究所, 北京 100080)
2) (河北工业大学材料学院 , 天津 300130)
( )
2004 年 9 月 14 日收到;2004 年 9 月 21 日收到修改稿
( )
阐述了反应等离子喷涂 RPS 方法的基本思想. 利用气体隧道等离子喷枪 ,通过 RPS 方法在 Q235 钢基底上成
功制备了氮化钛涂层. 检测了 TiN 涂层在不同载荷下的显微硬度 ,结果显示 TiN 涂层具有明显的硬度压痕尺寸效
应 ,在高载荷下加工硬化效应较弱. XRD ,TEM 及 HRTEM 等分析表明 ,通过 RPS 方法制备得到了纳米 TiN 涂层 ,涂层
由直径约为50 —70 nm 的 TiN 晶粒及非晶 TiN 所组成.
关键词 : 反应等离子喷涂 , 纳米 , 氮化钛 , 微观结构
PACC : 8115R , 6800 , 4630
道. 本文利用自行研制的气体隧道等离子喷枪 ,通过
1 引 言 RPS 工艺 ,成功的制备出了纳米晶 TiN 涂层 ,涂层的
μ
厚度达 500 m 以上,且具有较高的硬度、优异的韧
TiN 属于间隙相 ,熔点高达 2955 ℃,原子之间的 性[16 ] 及耐磨损[17 ] 性能.
结合为共价键、金属键及离子键的混合键 ,其中金属
( )
原子间存在金属键. 因此 ,TiN 涂层 薄膜 具有高硬 2 实验原理及描述
( ) [1 ] [2 ]
度 理论硬度 21 GPa 、优异的耐热 、耐磨 、耐腐
蚀[3 ,4 ] 等特性 ;并且具有显著的金属特性 :金属光泽、 实验用 Ti 粉由北京有色金属研究总院生产
[5 ] ( ) 3 ,粒度 300 目
优良的导电性及超导性 . TiMp-1 ,熔点 1670 ℃,密度 596 gcm
T
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