电能谱研究和表征.pdfVIP

月 北京 范 学学 然科学版 年 师 大 报 自 卯 第 卷 第 期 汀以 勺 以 台以 血工 一 离子束外延 日 薄膜 的 ’ 电子 能谱研究和表征 吴正 龙 ’ 杨锡震 ” 秦复光刀 , , , , , , 北京师范大学分析测 试 中心 】翻 北京 中国科学 院半导体研究所 叼 北京 第一作者 岁 男 助研 , 摘要 用 电子能谱分析方法对低能离子束外延 生长 的 一 几进行 了详细研究 并对其 电 子能谱进行 了表征 实测 出 玲 价带谱与有关理论计算结果相 符 , 用 价带谱来表征 一 比 、 光 电子峰更为 晰 可取 同时, 样 品 向 析 明界面处 在有 的过渡层 根 果 清 对 纵 分 表 存 较厚 据分析结 对 低能 】 生长机理进行 了探讨 经研究认为 通过空位机制进行 的增 强互扩散 ,