电泳沉积法制备PNN-PZT厚膜的研究.pdfVIP

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2017-09-15 发布于重庆
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电泳沉积法制备PNN-PZT厚膜的研究.pdf

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第 27 卷第 4 期无机材料学报 Vol. 27 No. 4 2012 年 4 月 Journal of Inorganic Materials Apr., 2012 文章编号: 1000-324X(2012)04-0379-06 DOI: 10.3724/SP.J.1077.2012.00379 电泳沉积法制备PNN-PZT 厚膜的研究 1,2 1 1 1 1 2 卢剑萍 , 李国荣 , 郑嘹赢 , 曾江涛 , 曾华荣 , 卞建江 (1．中国科学院上海硅酸盐研究所, 上海200050; 2. 上海大学电子信息材料系, 上海200072) 摘要: 利用电泳沉积法在φ50 μm 的铂金丝上制备了厚度约 50 μm 的 0.2Pb(Ni Nb O -(0.8−x)PbTiO -xPbZrO 1/3 2/3) 3 3 3 (PNN-PZT)致密压电陶瓷厚膜. 研究了不同聚合度的分散剂聚乙二醇(PEG)对悬浮液的 Zeta 电势和厚膜表面形貌的影响.结果显示, 加入高聚合度的分散剂 PEG10000 所制得的悬浮液比加入低聚合度的分散剂 PEG6000 制得的悬浮液更稳定, 并且电泳沉积得到的厚膜也更加致密. 本研究解释了不同聚合度的 PEG 对悬浮液稳定的可能原因, 并比较了连续电泳沉积法与分步电泳沉积法对厚膜表面形貌的影响, 结果表明采用分步电泳沉积法制备的厚膜更加致密. 研究了不同的烧结温度对 PNN-PZT 厚膜形貌和介电性能的影响, 结果显示烧结温度为 1180℃时, 厚膜的介电性能最好, 介电常数达 988, 介电损耗为 3.7%. 测试了 1180℃烧结的PNN-PZT 厚膜的电压位移曲线和电滞回线, 结果表明厚膜的有效压电常数为 90 pm/V,剩余极化为 6.00 kV/cm. 关键词: 电泳沉积; PNN-PZT 厚膜; 聚乙二醇中图分类号: TB321; O482; O487 文献标识码: A Investigation of PNN-PZT Thick Films Fabricated by Electrophoretic Deposition 1,2 1 1 1 1 2 LU Jian-Ping , LI Guo-Rong , ZHENG Liao-Ying , ZENG Jiang-Tao , ZENG Hua-Rong , BIAN Jian-Jia