基于聚酰亚胺的神经微电极的制备及特性研究①.pdfVIP

高技术通讯2011年第21卷第12期：1323一1328 doi：lO．3772／j．i鹪n．1002J0470．2011．12．017 基于聚酰亚胺的神经微电极的制备及特性研究① 李晓倩②+ 裴为华③+ 归 强’ 郭 凯’ 王 宇“’ 王 凯”’ 汤戎昱’ 陈弘达‘ (’中国科学院半导体研究所集成光电子学国家重点实验室 北京100083) (“兰州大学物理科学与技术学院 兰州73jD000) (”’北京大学人民医院北京100044) 摘要提出了一种基于非光敏型聚酰亚胺PI．5J的柔性薄膜神经微电极的制作方法， 利用常规光刻技术设计和制作出了适合植入的柔性神经刺激微电极阵列，并通过离体实 验对其进行了微电极的老化测试和电学特性测试，通过在体实验进行了微电极的生物相 容性测试。测试结果显示，制作出的微电极不容易老化，而且具有很好的生物相容性和电 学性能，此实验结果为进一步的动物在体实验提供了重要依据。上述制作柔性神经微电 极的方法对于促进神经科学的基础研究和神经疾病的治疗和康复具有重要意义。 关键词神经刺激电极，非光敏型聚酰亚胺，柔性，生物相容性，老化特性，电学特性 种很好的生物相容性材料，因此被广泛用作柔性电 O 引言 极的基底材料伸d引。由于光敏型聚酰亚胺的工艺过 程简单，因此目前国际上许多研究机构均采用该材 记录神经活动电信号和建立对神经组织的功能 料作为刺激或记录电极的绝缘材料一4¨，但非光敏 性电刺激，可以帮助人类深入了解神经系统的组织 型聚酰亚胺的材料选择范围更大，因此也有许多研 方式和工作模式，也有望成为治疗像中风、癫痫、帕 究机构采用非光敏型聚酰亚胺制备电极，且多采用 金森症等顽疾和修复受损器官，如耳聋、失明等的新 3．14 等离子体刻蚀的方法来加工【l J，工艺过程复杂， 技术和新方法…。其中起关键作用的是神经微电 制作成本高。本文选用非光敏型聚酰亚胺作为电极 极器件，它通过电极．体液界面可以完成生物离子信 的绝缘材料设计和制作出了适合植入的柔性神经刺 号与电信号之间的转换旧J，达到记录神经活动电信 激微电极阵列，并通过电极的老化测试、生物相容性 号和建立功能性电刺激的目的。因此，微电极阵列 测试和电学特性测试验证了电极的性能。制作中利 作为电子．神经的接口已被认为是建立功能性电刺 用普通显影液，在光刻的同时腐蚀掉聚酰亚胺使其 激或记录神经活动电信号的关键生物器件，并且扮 图形化，大大简化了制作工艺。 演着越来越重要的角色p’引。 早在20世纪60年代，已采用光刻工艺等微加1 材料和方法 工方法制作出了基于硅、陶瓷等刚性材料的高密度、 多通道微电极阵列∞引。20年后，基于柔性聚合物 1．1材料选择和形状设计 衬底的微电极阵列也逐步被研究出来b’7|，如聚二 微电极基质材料采用非光敏型的聚酰亚胺，型 甲基硅氧烷、聚酰亚胺、聚对二甲苯等。这些聚合物 号为Pl-5J(上海晟耀科贸有限公司)，由于金的生物 具有很好的柔韧性，用它们能够制备出更为轻薄、生 相容性很好，因此选用金作为电极点及金属连线，用 物相容性更好的电极。特别是聚酰亚胺，作为一种 金属钛来增加金与聚酰亚胺衬底的粘附。加工中的 新型聚合物材料，具有良好的力学和电学特性，且耐 衬底材料采用单面抛光的硅片(购于天津半导体研 高温、抗腐蚀，具有很好的化学稳定性，同时也是一 究所，天津)，电阻率