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第 20 卷第 3 期 中国有色金属学报 2010 年 3 月
Vol.20 No.3 The Chinese Journal of Nonferrous Metals Mar. 2010
文章编号:1004-0609(2010)03-0522-07
RuO ·nH O 薄膜的制备以及物相演变和伏安特性
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刘 泓,甘卫平,郭桂全,刘继宇,李 祥,郑 峰
( 中南大学 材料科学与工程学院,长沙 410083)
摘 要:以RuCl ·3H O 水溶液为电沉积液,采用直流−示差脉冲组合电沉积技术,通过后续热处理工艺制备超级
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电容器用钽基RuO ·nH O 薄膜电极材料。用 X 射线衍射仪 (XRD) 、红外光谱仪 (FTIR) 、差热分析仪 (DTA) 、扫
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描电镜 (SEM)和电化学分析仪,研究前驱体 RuCl ·cH O 转化为 RuO ·nH O 的物相演变行为以及微观组织形貌和
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循环伏安性能。结果表明:随着热处理温度升高,前驱体 RuCl ·cH O 通过 4 步反应转变成 RuO ·nH O 薄膜;该
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薄膜经历从无定形向晶体结构的转变。经 300 ℃热处理的 RuO ·nH O 薄膜电极材料的单位面积质量为2.5 mg/cm ,
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比电容达到512 F/g;当电压扫描速率从 5 mV/s 增加到 250 mV/s 时,其比电容下降 34% 。
关键词:水合氧化钌;薄膜材料;热处理;超级电容器;物相演变
中图分类号:TG154.5 文献标识码:A
Preparation, phase transition and cyclic voltammetric properties of
RuO ·nH O film
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LIU Hong, GAN Wei-ping, GUO Gui-quan, LIU Ji-yu, LI Xiang, ZHENG Feng
(School of Materials Science and Engineering, Central South University, Changsha 410083, China)
Abstract: As a good electrode material for supercapacitor, RuO ·nH O fil
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