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第3卷第 2期 纳 米 技 术 与 精 密 工 程 Vo1．3 NO．2
2005年6月 NanotechnologyandPrecisionEngineering Jun．2005
基于二维精密 电容微位移传感器的二维纳米定位系统
王碧波，岳金福，周泽兵，彭益武
(华中科技大学物理系基本物理量测量教育部重点实验室，武汉 430074)
摘 要：设计并研制了一种结构小巧的纳米级精密定位平台．该 系统采用正交簧片式设计，有效地抑制了正交运
动的耦合，同时应用一个二维电容微位移传感器作为位移标准来对定位平台实行反馈控制，有效地克服 了压电陶
瓷执行机的非线性和迟滞效应．实验结果表明，该系绕定位精度优于 lnm，可在0．5 m×0．5 m范围内实行任意
二维纳米循迹定位．给 出了半径为2．5nm的圆及外接 圆半径约为5nrn的五角星形的定位轨迹 图．该系统基本满
足高精度引力实验精确定位的需求．
关键词：纳米定位；压电陶瓷执行机；电容传感器
中图分类号：TH703．65 文献标识码 ：A 文章编号：1672—6030(2005
Two-·DimensionalNano-·PositioningSystem Combinedwith
Two-DimensionalCapacitiveDisplacementSensor
WANG Bi—bo，YUEJin—fu，ZHOU Ze—bing，PENGYi—WU
(KeyLaboratoD,ofElementaD,PhysicalQuantitiesMeasurementofMinist~ofEducation．
HuazhongUniversit
．yofScienceandTechnolo~，Wuhan430074，China)
Abstract：A two—dimensionalnano—positioningsystem combinedwithatwo—dimensionalcapacitancedisplace—
mentsensorispresented．Twopiezoelectricactuatorsdriveanorthotropieberyllium—copperflexurestage anda
，
two—dimensio—nalcapacitancesensorwithstray—immunedesignisusedinfeed—backeontrolofthemotionofthe
nano—positioningstage，whicheffectivelycompensatesthenonlinearityandhysteresisofpiezoelectricactuators．
Experimentalresultsshowthatthenano—positioningsystem canbeusedtodrawanyplanarmotionwithinarange
of0．5txm ×0．5txm andwithaprecisionofbelow 1nm．Acirclewitharadiusofabout2
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