氢气传感器的研究进展 3.pdfVIP

1 ( ) 　　　　　　　　传感器与微系统 Tran sducer and M icrosystem Technologies 　　　　　　　　　2009年 第 28卷 第 8期 8 氢气传感器的研究进展 刘俊峰 , 陈侃松 , 王爱敏 , 顾豪爽 , 刘华容 ( ) 湖北大学 物理学与电子技术学院 , 湖北 武汉 430062 摘 　要 : 作为氢气检测的一种重要手段 ,氢气传感器显得尤为重要。介绍了目前研究最为广泛的半导体 型、热电型、光纤型 3种氢气传感器的研究进展 ,分别阐述了这 3种传感器的结构、工作原理、研究现状及 其优缺点 ,并对氢气传感器的应用前景和研究方向进行了展望。 关键词 : 电子技术; 氢气传感器 ; 综述 中图分类号: TP 212. 2　　　文献标识码 : A　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2009) 08 - 0008 - 04 Research progress of hydrogen sen sor L IU Junfeng, CHEN Kansong, WANG A im in, GU Haoshuang, L IU Huarong ( Faculty of Physics and Electron ic Technology, Hube i Un iversity, W uhan 430062, Ch ina) Abstract: The research of hydrogen sensor is exigent. The structure, p rincip le, research p rogress and p roperties of the sem iconductor hydrogen sensors, the thermoelectric hydrogen sensors and the op tical fiber hydrogen sensors are introduced. And the development p rospect and the direction of hydrogen sensors are also discussed. Key words: electronic technology; hydrogen sensor; review 0　引 　言 金属氧化物为气敏材料 ,例如 : 国产 QM 系列氢气传感器 氢气由于其燃烧效率高、产物无污染等优点 ,与太阳 就是以 SnO2 作为氢气敏感材料 ,故也称金属氧化物半导 能、核能一起被称为三大新能源。作为一种新能源 ,氢气在 体氢气传感器。其工作原理是 : 当吸附氢气后 ,氢气作为 航空、动力等领域得到广泛的应用 ; 同时,氢气作为一种还 施主释放出电子 ,与化学吸附层中的氧离子结合 ,于是载 原性气体和载气 ,在化工、电子、医疗、金属冶炼 ,特别在军事 流子浓度发生变化 ,该变化值与氢气体积分数存在一定的 国防领域有着极为重要的应用价值。但氢气分子很小,在生