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第 20 卷 第 6 期 真 空 科 学 与 技 术
( )
2000 年11月 VACUUM SCIENCE AND TECHNOLO GY CHINA 447
基底特性对铝膜表面形貌的影响
夏阿根 金进生 陶向明 叶高翔
(浙江大学物理系 杭州 310028)
Influence of Substrate Characteristics on Surface Morphology of Aluminum Films
Xia Agen ,Jin Jinsheng , Tao Xiangming , Ye Gaoxiang
( )
Depart ment of Physics , Zhejian g U niversity , Hangz hou , 310028
Abstract The top and bottom surfaces of thin aluminum films grown on top of the silicone oil surface were studied with scan
ning electron microscopy. We found that the characteristics of the liquid substrate can significantly affect the surface morphology of the
aluminum films.
Keywords Liquid substrate ,Wedgeshaped film ,Wrinkly ,Surface morpholo gy
摘要 用扫描电子显微镜对沉积在硅油表面的金属铝膜上、下表面的形貌进行了研究 ,证实了液体基底特性对金属铝膜
表面形貌的重要影响。
关键词 液体基底 锲形膜 皱褶 表面形貌
中图分类号:O 4841 文献标识码 :A 文章编号 (2000)
人们对沉积在固体基底表面的金属膜已有了诸 1 实验方法
[1～3 ] ( )
多的研究 ,并取得了很大的成果 。但是基底特 在洁净的抛光 Si 111 基底上 ,滴上一小滴纯硅
( )
性对较厚的金属薄膜表面形貌的影响还有很多问题 油 dow copning 705 diffusion pump fluid ,硅油滴直
( - 8
有待进一步研究 ,例如对金属膜下表面 即与基底相 径约为 1～2 mm ,该硅油在室温下的蒸气压为 10
)
接触的膜面 的研究
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