国内外金属化炉概论.pdfVIP

·电子陶瓷、陶瓷一金属封接与真空开关管用陶瓷管壳应用专辑· 国内外金属化炉概述 刘晓芳 (北京真空电子技术研究所，北京 100016) Brief IntroductionoftheFurnaceforMetallization LIU Xiao—fang VacuumElectronicsResearch 100016，China) (Beijing Institute，Beijing introducedtwokindofthefurnacefor themain Abstract：Thispaperbriefly metallization，including ofthe control it parts furnace，automaticand contr01．I could thetechnicalstaffof security hope provide our somereference． country words：Horizontal control Key furnace；Verticalfurnace；Metallization；Automatic control；Security 摘要：主要介绍了国内外用于金属化工艺的两种高温氢气炉，炉子的主要组成、自动控制及安全方面的设计思路。 关键词：卧式炉；立式炉；金属化；自动控制；安全保护 中圈分类号：TQl74文献标识码：A 文章编号：1002--8935(2009)04—0043—03 随着电真空技术的不断发展，对陶瓷与金属封 l 卧式炉 接件的要求也越来越高，在其制造过程中金属化这 以美国进口的BTU炉为例。 道工序是极为关键的，金属化的质量直接会影响到 1．1炉体概述 封接件的质量和可靠性。那么金属化炉便成为影响 该炉是一种连续工作的高温推板炉，在可控气 产品质量的关键设备。近十几年来，我国～些企业 氛(通常为氢气或氮氢混合气)下进行工作，其外形 从国外引进了一些金属化炉，国内的一些制造厂也 见图1所示。氮氢混合气是由液氨分解制成，生产 生产了大量用于陶瓷金属化的设备，其中有些厂家 成本较低，国内卧式氢炉多采用氮氢混合气n]。主 吸取了国外．设备的许多优点并不断改进，再加上近 炉体分成三大部分：预热区、高温加热区和冷却区。 年来国内金属制造业和耐火材料制造业的发展，生 需进炉的产品先放在主炉体南侧传送带的推板上， 产出了比较先进实用的金属化炉，为国内陶瓷金属 由入口推杆、主推杆、出口推杆、返回推杆来完成连 化的规模生产提供了优良的设备。 续循环工作。产品的推进速度可调节，每个加热区 金属化炉主要分为立式和卧式两种类型。立式 炉为间歇式炉，它的特点是温度曲线可随着所烧产 品的类型而进行特殊设置，可以烧结尺寸比较大的 产品，可以控制干湿氢的转换，耗气量较小，可以灵 活地进行生产，其缺点是产量低，温度均匀性不太 好，易出现花斑和金属化面发花的现象。卧式炉为 连续式炉，适于大批量生产，工艺调整好后能够稳定 生产，产品一致性较好，其缺点是温度曲线不宜经常 变化，炉内的干湿氢