超高真空电子束蒸发系统ULS400的技术改造及新应用.pdfVIP

二 ○○四年·第五期 研制与开发 超高真空电子束蒸发系统ULS400 的技术改造及新应用 王银川 　许向东 (北京大学化学与分子工程学院 　北京 　100871) 摘 　要 　本文主要介绍安装在超高真空电子束蒸发系统 ULS400 中 ———自行设计、研制的 恒温控制系统以及它在纳米科技领域发挥出的新作用 :制备多种特殊结构的纳米材料 ,包 括首次在超高真空条件下制备出高品质的一维单晶硅纳米线等。 关键词 　超高真空系统 　电子束蒸发 　恒温控制系统 　纳米技术 ( ) 品的正面位置 见图 1 。而且 ,把加热器 2 加工成 引言 中空的内腔 ,加热灯丝垂直放置 , 内腔外壁包裹着多