基于半导体材料微纳波导全光逻辑门的研究进展.pdfVIP

实验技术 基于半导体材料微纳波导全光逻辑门的研究进展 翟 　耀 　　孙 　阳　　徐学俊 　　陈少武 ( 中国科学院半导体研究所 　集成光电子国家重点实验室 　北京 　100083) ( ) 摘 　要 　　全光逻辑门是全光计算以及全光信号处理系统中关键的光子器件. 随着互补金属氧化物半导体 COM S 工艺的发展 ,基于半导体材料微纳波导全光逻辑门已经成为集成光学领域中的重要方向;尤其是硅基光子集成器件 ( ) ( 在近些年成为了国际研究热点. 文章主要对基于绝缘体上的硅 SO I 和 Ⅲ- Ⅴ族化合物材料不同波导结构 马赫 - 曾 ( ) ) 德尔干涉仪 Mach - Zehnder int erferomet er 微环谐振腔和条形波导结构 的全光逻辑门的研究进展进行了介绍 ,并且 在器件的工作速率和功耗方面 ,分别对上述基于 SO I 和 Ⅲ- Ⅴ族化合物材料三种不同波导结构的全光逻辑门进行了 分析和比较. 关键词 　　全光逻辑 ,微环谐振腔 ,非线性光学 ,双光子吸收 ,半导体微纳波导 ALLopical logic gates based on micronanometer semiconductor waveguides ZHA I Yao 　　SUN Yang 　　XU XueJ un 　　C H EN ShaoWu ( S t ate Key L aborat ory on I nteg rate d Op t oelect ronics , I ns t it ute of S em icon d uctors , ) Chi nese A ca demy of S ciences , B eij i ng 100083 , Chi na Abstract 　　Alloptical logic gat e s are key p hotonics device s in alloptical comp uting and signal p rocessing sy st em s . Wit h t he develop ment of CMO S t echniques , alloptical logic gat es ba sed on micronanomet er semiconductor waveguides have become an import ant re search field in int egrat ed p hotonics . In p articular , siliconba sed int egrat ed p hotonic devices have at t ract ed great at t ention . We shall de scribe variou s kinds of allop tical logic gat e s ba sed on silicononin sulator and Ⅲ Ⅴgroup compounds , which have t hree