环形无源万向微机电惯性开关.pdfVIP

第21 卷第2 期 中国惯性技术学报 Vol.21 No.2 2013 年 4 月 Journal of Chinese Inertial Technology Apr. 2013 文章编号：1005-6734(2013)02-0240-05 环形无源万向微机电惯性开关 刘双杰，郝永平 （沈阳理工大学装备工程学院，沈阳 110159 ） 摘要：针对传统惯性开关阈值散布大、万向性差等缺点，设计了一种环形无源万向微机电惯性开关。 环形的可动质量框作为可动电极，由内部的四根折叠悬臂梁支撑，和外部的环状固定电极有一定间隙， 构成xy 平面内的万向开关。对设计开关进行有限元动态接触仿真，结果表明开关在1000 g 加速度作 用下的响应时间和接触时间分别约为0.142 ms 和5 s ，表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果。 研究悬臂梁线宽与开关阈值加速度的关系，结果表示悬臂梁线宽的微小变化会引起阈值加速度的较大 变化。利用冲击台试验对封装后的开关进行阈值试验，试验结果表明实际阈值分布在900 g ~1300 g 范 围内，80% 的开关阈值比设计值大。用微电镜对悬臂梁线宽进行静态测量，悬臂梁线宽加工误差大多 分布于0~+2 m ，加工误差直接导致开关的阈值加速度增加，设计阶段应充分考虑加工误差对阈值加 速度的影响。 关 键 词： MEMS ；惯性开关；万向；环形 中图分类号：U666.1 文献标志码：A Annular passive universal MEMS inertial switch LIU Shuang-jie, HAO Yong-ping (School of Equipment Engineering, Shenyang Ligong University, Shenyang 110159, China) Abstract: To overcome traditional inertial switch’s defects such as board distributed threshold and poor universality, a MEMS annular passive universal inertial switch was designed. The movable annular mass frame was used as the movable electrode which was supported by internal four snake-like cantilever beams and had a certain clearance with external annular fixed electrodes. The finite element dynamic contact g simulation for the designed switch indicate that, under the effect of 1000 acceleration, the switch’s response time and contact time were approximately 0.142 ms and 5 s, respectively, showing tha